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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 搭載ディスペンサー | XYステージ駆動 | 対応可能基板 | 搬送系 | 画像ソフトウェア機能 | オーブン | クーリングプレート | 検査ユニット | ユーティリティ | 装置サイズ | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
WL |
要見積もり |
ツインエア式ディスペンサー |
ボールネジorリニアモータ |
6~12インチウェハ |
ローダー |
オートアライメント、DXFインポート機能 |
対応可 |
対応可 |
なし |
AC200V、クリーンドライエア：0.5Mpa、真空 |
W2,300xD1,800xH2,000mm |
2,200kg |
