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ウェットプロセス Revolution セミオートウェットプロセッサー-株式会社インターテック販売

この製品について

■概要

省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー。RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。

■省スペースな回転式ロボット

・2-5ポジション、2軸設計 ・プロセスタンク複数搭載可 ・タンクカバー (オプション) ・圧力式または光学式タンクレベルモニタリング ・急速排水洗浄 (オプション)

■その他

・エッチング、剥離、洗浄の多彩なアプリケーション ・分かりやすいレシピ構成 ・薬品添加、注入、充填オプション ・酸、溶解モデル ・タンク5つまで搭載可 ・マランゴニ乾燥組み込み可

■専用ソフトIDX Flexwareで歩留まりアップ

・高い柔軟性 ・高い自由度 ・正確性 ・SECS/GEM準拠 ・タッチスクリーンUI ・複数ロット・レシピ同時進行

■設計ポリシー

・生産性 ・安全性 ・信頼性 ・高い自由度 ・低コスト ・メンテナンスが容易

  • 型番

    Revolution

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ウェットプロセス Revolution セミオートウェットプロセッサー Revolutionの性能表

商品画像 価格 (税抜) 工程 メーカー
ウェットプロセス Revolution セミオートウェットプロセッサー-品番-Revolution 要見積もり 洗浄 RENA

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使用用途

#ウエハ洗浄 #酸化膜除去 #有機物除去 #金属汚染除去 #パーティクル除去 #ドライプロセス #ウエットプロセス #クリーン化管理 #高純度薬液

洗浄方式

ウェット ドライ メガソニック スプレー

処理形態

バッチ型 シングルウエハ型 連続搬送型

特殊機能

ケミカル循環型 ドライインアウト型 プラズマ支援型

対応サイズ インチ

0 - 4 4 - 8 8 - 12

装置寸法 mm

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500

本体重量 kg

0 - 50 100 - 500

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

インターテック販売では、半導体製造装置やその部品について、新品から中古品までお客様のニーズに合わせてご提案しております。海外メーカーの正規販売代理店として輸入販売している他、保証・アフターサービスのあるリファービッシュ品...

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