制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
工程
洗浄
メーカー
RENA
仕様 プロセスアプリケーション
洗浄、乾燥
仕様 ワーク
FOUP、FOSB
仕様 処理数
ターンテーブルあたり12個のFOUPまたはFOSB
仕様 最大回転数
150rpm
仕様 筐体材質
白色PP、ステンレス枠
仕様 タンク材質
PVDF (ブースタータンクとHot DI供給)
仕様 寸法
・D: 2,000 × W: 1,850 × H: 2,700mm ・筐体を二分割すると高さは2,250mm
仕様 用力 電気
AC400V、50/60Hz、24kW、35A
仕様 用力 温水供給
25L/分、60~70℃
仕様 用力 排気量
800m3/h、500Pa
仕様 用力 CDA
6バール
仕様 用力 N2
3バール
仕様 用力 騒音レベル
~65dbA
型番
Solanoボックスクリーナー取扱企業
株式会社インターテック販売カテゴリ
もっと見る
半導体洗浄装置の製品69点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 工程 | メーカー | 仕様 プロセスアプリケーション | 仕様 ワーク | 仕様 処理数 | 仕様 最大回転数 | 仕様 筐体材質 | 仕様 タンク材質 | 仕様 寸法 | 仕様 用力 電気 | 仕様 用力 温水供給 | 仕様 用力 排気量 | 仕様 用力 CDA | 仕様 用力 N2 | 仕様 用力 騒音レベル |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | 洗浄 | RENA | 洗浄、乾燥 | FOUP、FOSB | ターンテーブルあたり12個のFOUPまたはFOSB | 150rpm | 白色PP、ステンレス枠 | PVDF (ブースタータンクとHot DI供給) |
・D: 2,000 × W: 1,850 × H: 2,700mm ・筐体を二分割すると高さは2,250mm |
AC400V、50/60Hz、24kW、35A | 25L/分、60~70℃ | 800m3/h、500Pa | 6バール | 3バール | ~65dbA |
半導体洗浄装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
洗浄方式がウェットの製品
半導体洗浄装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#ウエハ洗浄 #酸化膜除去 #有機物除去 #金属汚染除去 #パーティクル除去 #ドライプロセス #ウエットプロセス #クリーン化管理 #高純度薬液洗浄方式
ウェット ドライ メガソニック スプレー処理形態
バッチ型 シングルウエハ型 連続搬送型特殊機能
ケミカル循環型 ドライインアウト型 プラズマ支援型対応サイズ インチ
0 - 4 4 - 8 8 - 12装置寸法 mm
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500本体重量 kg
0 - 50 100 - 500電源 V
0 - 100 100 - 200 200 - 250
