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返答率
100.0%
返答時間
115.0時間
手法
小角X線散乱 - 透過モード (TSAXS)
用途
高アスペクト比 (HAR) 構造の臨界寸法測定
X線ソース
回転対陰極 (Mo Ka、17.4 keV)
X線光学系
多層ミラー光学系
X線検出器
HyPix 6000HE (2D)
主要コンポーネント
パターン化されたウェーハの計測 周期的な微細な3D形状 深い穴/柱構造 DRAM、3D-NAND、3D LSI構造
特徴
パターン認識およびフルウェーハマッピング
本体寸法
4,020 (W) × 2,500 (D) × 3,450 (H) mm
測定対象
ピッチ、CD、高さ、側壁膜厚、SWA (側壁角度) 、RT (丸みのある上部) 、RB (丸みのある下部) 、CD分布、ピッチ分布、高さ分布
型番
XTRAIA CD-3200T取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | X線ソース | X線光学系 | X線検出器 | 主要コンポーネント | 特徴 | 本体寸法 | 測定対象 | オプション |
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要見積もり | 小角X線散乱 - 透過モード (TSAXS) | 高アスペクト比 (HAR) 構造の臨界寸法測定 | 回転対陰極 (Mo Ka、17.4 keV) | 多層ミラー光学系 | HyPix 6000HE (2D) |
パターン化されたウェーハの計測 周期的な微細な3D形状 深い穴/柱構造 DRAM、3D-NAND、3D LSI構造 |
パターン認識およびフルウェーハマッピング | 4,020 (W) × 2,500 (D) × 3,450 (H) mm | ピッチ、CD、高さ、側壁膜厚、SWA (側壁角度) 、RT (丸みのある上部) 、RB (丸みのある下部) 、CD分布、ピッチ分布、高さ分布 |
GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート |
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