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高分解能X線回折装置 薄膜特性を分析するためのX線回折を使用したインラインモニタリングおよび制御 TFXRD シリーズ TFXRD-200-株式会社リガク

株式会社リガクの対応状況

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返答時間

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手法

X線回折 (XRD) 、ロッキングカーブ (XRC) 、および反射率測定 (XRR)

用途

200 mmウェーハ用のフルマッピングXYステージを備えた高精度ゴニオメータ

主要コンポーネント

ブランケットウェーハの計測技術 最大200 mmウェーハのフルマッピングXYステージ

制御 (PC)

外部PC、MS Windows OS、SmartLab Studio IIソフトウェア

本体寸法

約. 1,900 (W) x 2,200 (H) x 1,900 (D) mm

質量

約. 1,600 kg

電源

3Ø、200 V、50/60 Hz、30 A (封入管) または60 A (9 kW回転対陰極)

この製品について

■最大200mmウェーハのフルマッピング用X線回折 (XRD) システム

TFXRD-200は、大口径ウェーハ上の薄膜の測定を目的とした専用のXRDツールであり、薄膜の厚さ、結晶性、化合物材料の組成比、エピタキシャルウェーハの格子緩和などを測定します。 概要

■選択可能な光学機器を備えた高精度ゴニオメータ

全ての薄膜XRDアプリケーションに適したXRDシステムで、200mmウェーハまでのマッピングに対応したXY可動ステージを搭載しています。当システムは、サンプルの損傷がなく状態が保たれることを保証し、追加の実験や分析を問題なく行うことができます。すべての研究開発ニーズに対して最も正確で信頼性の高い結果を提供します。

■ニアファブアプリケーション向けのXRDシステムマッピングツール

材料解析の向上、品質管理の強化、および製造プロセスの最適化に使用できます。

■薄膜

・正確な厚さと組成 ・結晶情報 ・応力とひずみ解析 ・非破壊特性評価 ・多層解析 ・先進材料開発

■XRR厚さに特化した専門のシステム

薄膜、コーティング、および多層構造の厚さ、密度、および界面粗さを決定します。

■GaAs (004) 、立方晶GaN (002) 、六方晶GaN (0004) 特性評価

電子および光電子デバイスでの要求性能を達成するために、結晶方位の精密な分析および材料の成長と加工を制御します。

■特長

・あらゆる薄膜XRDアプリケーションに対応する選択可能な光学系とマッピング用XY可動ステージを備えた最高精度のゴニオメーター ・効率的な計測速度 ・高分解能測定用の入射モノクロメータ ・大型ウェーハの全マッピング ・最大200mmウェーハまで

  • 型番

    TFXRD-200

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高分解能X線回折装置 薄膜特性を分析するためのX線回折を使用したインラインモニタリングおよび制御 TFXRD シリーズ TFXRD-200 TFXRD-200の性能表

商品画像 価格 (税抜) 手法 用途 主要コンポーネント 制御 (PC) 本体寸法 質量 電源 オプション テクノロジー
高分解能X線回折装置 薄膜特性を分析するためのX線回折を使用したインラインモニタリングおよび制御 TFXRD シリーズ TFXRD-200-品番-TFXRD-200 要見積もり X線回折 (XRD) 、ロッキングカーブ (XRC) 、および反射率測定 (XRR) 200 mmウェーハ用のフルマッピングXYステージを備えた高精度ゴニオメータ ブランケットウェーハの計測技術
最大200 mmウェーハのフルマッピングXYステージ
外部PC、MS Windows OS、SmartLab Studio IIソフトウェア 約. 1,900 (W) x 2,200 (H) x 1,900 (D) mm 約. 1,600 kg 3Ø、200 V、50/60 Hz、30 A (封入管) または60 A (9 kW回転対陰極)

PhotonMax高輝度9 kW回転対陰極X線源
Confocal Max-flux 800 W回転対陰極X線源
HyPix-3000高エネルギー分解能2D HPAD検出器

大型のクレードルを備えた高精度θ-2θ水平ゴニオメータ


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使用用途

#元素分析 #構造解析 #研究開発 #マッピング #異物検出 #微小部測定 #粉末試料 #薄膜

測定原理

波長分散型 エネルギー分散型 回折型 蛍光型

分析対象

元素分析型 結晶構造解析型

測定対象形状

バルク対応型 微小領域対応型

装置構成

卓上型 据置型

検出器

FPD HPC検出器 シリコンドリフト検出器

測定可能なq範囲 nm-1

0 - 30 30 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

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115.0時間

会社概要

株式会社リガクは、X線分析装置メーカーです。
リガクはX線分析に要する基礎技術と要素部品を独自に開発しており、X線源、光学機器、検出器等の主要な要素技術について世界のトップ水準にあります。

19...

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  • 本社所在地: 東京都

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