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返答率
100.0%
返答時間
115.0時間
手法
X線回折 (XRD) 、ロッキングカーブ (XRC) 、および反射率測定 (XRR)
用途
高精度ゴニオメータと大型ウェーハ (200 mm、300 mm) 用の全マッピングXYステージ
主要コンポーネント
最大300 mmウェーハのフルマッピングXYステージ
制御 (PC)
外部PC、MS Windows OS、SmartLab Studio IIソフトウェア
本体寸法
約. 1,900 (W) x 2,200 (H) x 1,900 (D) mm
質量
約. 1,600 kg
電源
3Ø、200 V、50/60 Hz、30 A (封入管) または60 A (9 kW回転対陰極)
型番
TFXRD-300取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | 主要コンポーネント | 制御 (PC) | 本体寸法 | 質量 | 電源 | オプション | テクノロジー |
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要見積もり | X線回折 (XRD) 、ロッキングカーブ (XRC) 、および反射率測定 (XRR) | 高精度ゴニオメータと大型ウェーハ (200 mm、300 mm) 用の全マッピングXYステージ | 最大300 mmウェーハのフルマッピングXYステージ | 外部PC、MS Windows OS、SmartLab Studio IIソフトウェア | 約. 1,900 (W) x 2,200 (H) x 1,900 (D) mm | 約. 1,600 kg | 3Ø、200 V、50/60 Hz、30 A (封入管) または60 A (9 kW回転対陰極) |
PhotonMax高輝度9 kW回転対陰極X線源 |
大型のクレードルを備えた高精度θ-2θ水平ゴニオメータ |
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