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返答率
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返答時間
115.0時間
手法
高分解能X線回折 (HRXRD) 、X線反射率 (XRR)
用途
多層材料やエピタキシャル膜のための非破壊ウェーハ解析 膜厚、組成、歪み、格子緩和、および結晶性の評価
X線源
9 kWの銅回転対陰極または2.2 kWのCu封入管 ミラーや2/4結晶を備えたラインフォーカス
主要コンポーネント
ブランケットウェーハ計測 X線検出器：2D (HyPix-3000) X線源：9 kWCu回転対陰極 X線光学系：最大2台のモノクロメーターGe (400) ×2、Ge (220) ×2、Ge (220) ×4
特徴
高強度の回転対陰極 X軸
本体寸法
1,656 (W) x 3,689 (D) x 2,289 (H) mm
測定結果
HRXRDおよびXRR XRR、XRD、ロッキングカーブ、および逆格子マップ (RSM)
型番
XTRAIA XD-3200取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | X線源 | 主要コンポーネント | 特徴 | 本体寸法 | 測定結果 | テクノロジー |
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要見積もり | 高分解能X線回折 (HRXRD) 、X線反射率 (XRR) |
多層材料やエピタキシャル膜のための非破壊ウェーハ解析 膜厚、組成、歪み、格子緩和、および結晶性の評価 |
9 kWの銅回転対陰極または2.2 kWのCu封入管 ミラーや2/4結晶を備えたラインフォーカス |
ブランケットウェーハ計測 X線検出器：2D (HyPix-3000) X線源：9 kWCu回転対陰極 X線光学系：最大2台のモノクロメーターGe (400) ×2、Ge (220) ×2、Ge (220) ×4 |
高強度の回転対陰極 X軸 |
1,656 (W) x 3,689 (D) x 2,289 (H) mm |
HRXRDおよびXRR XRR、XRD、ロッキングカーブ、および逆格子マップ (RSM) |
ブランケットエピタキシャル薄膜 (例：Si/SiGe多層) |
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