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返答率
100.0%
返答時間
115.0時間
手法
高分解能X線回折 (HRXRD) 、X線反射率 (XRR)
用途
ブランケット/パターン化されたエピタキシャル薄膜向け デュアルビーム (ラインおよび40μmマイクロスポット) パターン認識
X線源
1：9 kWのCu回転対陰極または2.2 kWのCu封入管 2：パターン化されたウェーハの測定用のCOLORS™ハイブリッドCuビームモジュール
主要コンポーネント
ブランケットおよびパターン化されたウェーハ計測 X線光学系: 最大2台のモノクロメーター Ge (400) ×2,Ge (220) ×2,Ge (220) ×4 X線検出器: 2D
特徴
高強度の回転対陰極、およびマイクロスポットビーム搭載 COLORS™ハイブリッドCuビームモジュール
本体寸法
1,656 (W) x 3,689 (D) x 2,289 (H) mm
測定結果
HRXRD、XRR、ロッキングカーブ、および逆格子マップ (RSM)
型番
XTRAIA XD-3300取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | X線源 | 主要コンポーネント | 特徴 | 本体寸法 | 測定結果 | オプション |
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要見積もり | 高分解能X線回折 (HRXRD) 、X線反射率 (XRR) |
ブランケット/パターン化されたエピタキシャル薄膜向け デュアルビーム (ラインおよび40μmマイクロスポット) パターン認識 |
1：9 kWのCu回転対陰極または2.2 kWのCu封入管 2：パターン化されたウェーハの測定用のCOLORS™ハイブリッドCuビームモジュール |
ブランケットおよびパターン化されたウェーハ計測 X線光学系: 最大2台のモノクロメーター Ge (400) ×2,Ge (220) ×2,Ge (220) ×4 X線検出器: 2D |
高強度の回転対陰極、およびマイクロスポットビーム搭載 COLORS™ハイブリッドCuビームモジュール |
1,656 (W) x 3,689 (D) x 2,289 (H) mm | HRXRD、XRR、ロッキングカーブ、および逆格子マップ (RSM) |
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