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反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学ツール インラインX線膜厚・密度モニター XTRAIA MF-3000 (MFM310)-株式会社リガク

XTRAIA MF-3000 | 反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学ツール インラインX線膜厚・密度モニター XTRAIA MF-3000 (MFM310)
株式会社リガク

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手法

X線反射率、蛍光および回折 (XRR、XRF、XRD)

用途

単層超薄膜から多層スタックまで測定

適合性

CEマーク、S2 / S8 / GEM-300 / HSMS準拠

制御 (PC)

300 mmファクトリーオートメーションで利用可能

本体寸法

1,400 (W) x 2,050 (H) x 3,410 (D) mm

電源

三相 208 VAC 50/60 Hz, 2.5 kW

この製品について

■パターンウェーハ対応の蛍光X線 (XRF) 、X線反射率 (XRR) およびX線回折 (XRD) によるインライン膜厚・密度モニター

リガクのXTRAIAMF-3000 (MFM310) は、パターンウェーハ対応の蛍光X線 (XRF) 、X線反射率 (XRR) およびX線回折 (XRD) によるインライン膜厚・密度モニターです。微小スポット径 (75μm、35μm) の単色化マイクロX線ビームとパターン認識機能を搭載し、ダミーパターンやICチップの特定部位などパターンウェーハ上の微小領域を利用して、ALD膜などの薄い膜から配線などの厚い膜まで様々な膜種の膜厚・密度が測定できます。 概要

■プロダクト・ウェーハを高スループットで測定

パターン認識機能を搭載し、プロダクトウェーハ上100μm以下の微小領域で、任意な測定位置が設定可能です。膜厚検査工程でブランケットウェーハが不要になります。薄膜の膜厚・密度を、大気中・非接触で高スループット測定できます。 (15-20WPH)

■Micro-XRF測定／高精度と高スループットを両立

7種類の単色化マイクロX線ビームモジュール「COLORS」をラインナップ。膜種に応じて最適な入射X線源を選択できます。任意設定可能なX線入射角度により、低入射・斜入射測定を実現。極薄膜測定にも対応し、高精度測定と高スループット測定を両立しました。

■Micro-XRR／高ダイナミックレンジ高スループットを実現

単色化マイクロX線ビームと108までのダイナミックレンジを持つ超高速検出器を搭載し、これまで困難だった高スループットMicro-XRR測定が可能になりました。高精度測定と高スループットを両立しました。

■Micro-XRD／各種メタル膜の結晶性測定が可能

100μm以下の単色化マイクロX線ビームを用いて、局所的なXRD測定が可能です。

■アプリケーション

・FEOL：CoSix、NiSix、SiGe、High-κ膜、Al… ・BEOL：バリアメタル、Ta/TaN、Ti/TiN、Cuシード、Cuメッキ…などのプロセスでも、広範な膜種、膜厚に対応します。

■ウェーハ面内分布評価

200mm、300mmウェーハを4軸試料台に水平支持し、ウェーハエッジまでの全面自動マッピング測定に対応します。

  • 型番

    XTRAIA MF-3000

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反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学ツール インラインX線膜厚・密度モニター XTRAIA MF-3000 (MFM310) XTRAIA MF-3000の性能表

商品画像 価格 (税抜) 手法 用途 適合性 制御 (PC) 本体寸法 電源 オプション テクノロジー
反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学ツール インラインX線膜厚・密度モニター XTRAIA MF-3000 (MFM310)-品番-XTRAIA MF-3000 要見積もり X線反射率、蛍光および回折 (XRR、XRF、XRD) 単層超薄膜から多層スタックまで測定 CEマーク、S2 / S8 / GEM-300 / HSMS準拠 300 mmファクトリーオートメーションで利用可能 1,400 (W) x 2,050 (H) x 3,410 (D) mm 三相 208 VAC 50/60 Hz, 2.5 kW

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会社概要

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