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返答率
100.0%
返答時間
3.5時間
MAXスピード
40mm/sec
コントローラ機能
有
消費電力
0.8A
ステージ上面材質
アルミ
センサ品番
マイクロフォトセンサ GP1S092HCPIF (シャープ (株) )
テーブル面サイズ
120×120mm
バックラッシ
3μm
ピッチング
25"
モーメント剛性 ピッチング
0.23"/N.cm
モーメント剛性 ヨーイング
0.12"/N.cm
モーメント剛性 ローリング
0.2"/N.cm
ヨーイング
20"
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
ロストモーション
3μm
位置決め精度
5μm
移動ガイド
アウターレール構造
円弧補間制御
○ (簡易制御)
近接原点センサ
無
駆動電流
0.75A/相
繰返し位置決め精度
3μm
原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
質量
3.0kg
周囲湿度
20~80%RH (結露なきこと)
制御軸数
1軸/台 ※デイジーチェインにて最大99軸まで連結可能
走り平行度
10μm
送りネジ
・ボールネジ径φ8mm ・リード2mm
耐荷重
117N (12.0kgf)
直線補間制御
○ (簡易制御)
電源電圧
DC24V
動作温度
5~40℃
型番
SBIS26-35X-M6取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | MAXスピード | コントローラ機能 | 消費電力 | ステージ上面材質 | センサ品番 | テーブル面サイズ | バックラッシ | ピッチング | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | ヨーイング | リミットセンサ | ロストモーション | 位置決め精度 | 移動ガイド | 円弧補間制御 | 近接原点センサ | 駆動電流 | 繰返し位置決め精度 | 原点センサ | 質量 | 周囲湿度 | 制御軸数 | 走り平行度 | 送りネジ | 耐荷重 | 直線補間制御 | 電源電圧 | 動作温度 |
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要見積もり | 40mm/sec | 有 | 0.8A | アルミ | マイクロフォトセンサ GP1S092HCPIF (シャープ (株) ) | 120×120mm | 3μm | 25" | 0.23"/N.cm | 0.12"/N.cm | 0.2"/N.cm | 20" | 有 (NORMAL CLOSE) | 3μm | 5μm | アウターレール構造 | ○ (簡易制御) | 無 | 0.75A/相 | 3μm | 有 (NORMAL OPEN) | 3.0kg | 20~80%RH (結露なきこと) | 1軸/台 ※デイジーチェインにて最大99軸まで連結可能 | 10μm |
・ボールネジ径φ8mm ・リード2mm |
117N (12.0kgf) | ○ (簡易制御) | DC24V | 5~40℃ |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40