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返答率
100.0%
返答時間
5.3時間
移動量
85mm
テーブル面サイズ
85×85mm
送りネジ
・ボールネジ径φ6mm ・リード1mm
移動ガイド
アウターレール構造
ステージ上面材質
アルミ
表面処理
黒アルマイト
質量
1.5kg
分解能 Full
5μm/パルス
分解能 Half
2.5μm/パルス
MAXスピード
25mm/sec
位置決め精度
10μm
繰返し位置決め精度
3μm
耐荷重
78.4N (8.0kgf)
モーメント剛性 ピッチング
0.4"/N.cm
モーメント剛性 ヨーイング
0.25"/N.cm
モーメント剛性 ローリング
0.35"/N.cm
ロストモーション
3μm
バックラッシ
3μm
平行度
30μm
走り平行度
10μm
ピッチング
30"
ヨーイング
20"
センサ品番
マイクロフォトセンサ GP1S097HCZ0F (シャープ ( (株) )
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
近接原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
モータ タイプ
2相ステッピングモータ 0.5A/相
モータ 品番
PKP213D05A-A3 (オリエンタルモーター (株) )
基本ステップ角
1.8°
ロータリーエンコーダ 分解能
500P/R
型番
OSMS (RE) 20-85 (X) -M6-M2取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 移動量 | テーブル面サイズ | 送りネジ | 移動ガイド | ステージ上面材質 | 表面処理 | 質量 | 分解能 Full | 分解能 Half | MAXスピード | 位置決め精度 | 繰返し位置決め精度 | 耐荷重 | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | ロストモーション | バックラッシ | 平行度 | 走り平行度 | ピッチング | ヨーイング | センサ品番 | リミットセンサ | 原点センサ | 近接原点センサ | モータ タイプ | モータ 品番 | 基本ステップ角 | ロータリーエンコーダ 分解能 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 85mm | 85×85mm |
・ボールネジ径φ6mm ・リード1mm |
アウターレール構造 | アルミ | 黒アルマイト | 1.5kg | 5μm/パルス | 2.5μm/パルス | 25mm/sec | 10μm | 3μm | 78.4N (8.0kgf) | 0.4"/N.cm | 0.25"/N.cm | 0.35"/N.cm | 3μm | 3μm | 30μm | 10μm | 30" | 20" | マイクロフォトセンサ GP1S097HCZ0F (シャープ ( (株) ) | 有 (NORMAL CLOSE) | 有 (NORMAL OPEN) | 有 (NORMAL OPEN) | 2相ステッピングモータ 0.5A/相 | PKP213D05A-A3 (オリエンタルモーター (株) ) | 1.8° | 500P/R |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
