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返答率
100.0%
返答時間
5.0時間
MAXスピード
1mm/sec
ステージ材質
アルミ
センサ品番
マイクロフォトセンサ マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF (シャープ (株) )
テーブル面サイズ
25×25mm
バックラッシ
1μm
ピッチング
60"
モーメント剛性 ピッチング
25"/N.cm
モーメント剛性 ヨーイング
15"/N.cm
モーメント剛性 ローリング
25"/N.cm
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
ロストモーション
10μm
位置決め精度
15μm
移動ガイド
クロスローラガイド
移動量
5mm
近接原点センサ
無
繰返し位置決め精度
5μm
原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
質量
0.3kg
走り平行度
30μm
送りネジ
・精密研削ネジφ4mm ・リード0.5mm
耐荷重
9.8N (1.0kgf)
表面処理
黒アルマイト
分解能 Full
1μm/パルス
分解能 Half
0.5μm/パルス
平行度
60μm
型番
OSCM25-5ZF取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | MAXスピード | ステージ材質 | センサ品番 | テーブル面サイズ | バックラッシ | ピッチング | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | リミットセンサ | ロストモーション | 位置決め精度 | 移動ガイド | 移動量 | 近接原点センサ | 繰返し位置決め精度 | 原点センサ | 質量 | 走り平行度 | 送りネジ | 耐荷重 | 表面処理 | 分解能 Full | 分解能 Half | 平行度 |
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要見積もり | 1mm/sec | アルミ | マイクロフォトセンサ マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF (シャープ (株) ) | 25×25mm | 1μm | 60" | 25"/N.cm | 15"/N.cm | 25"/N.cm | 有 (NORMAL CLOSE) | 10μm | 15μm | クロスローラガイド | 5mm | 無 | 5μm | 有 (NORMAL OPEN) | 0.3kg | 30μm |
・精密研削ネジφ4mm ・リード0.5mm |
9.8N (1.0kgf) | 黒アルマイト | 1μm/パルス | 0.5μm/パルス | 60μm |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
