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返答率
100.0%
返答時間
5.3時間
MAXスピード
10mm/sec
ステージ材質
鉄
センサ品番
マイクロフォトセンサ GP1S092HCPIF (シャープ (株) )
テーブル面サイズ
165×165mm
バックラッシ
1μm
ピッチング
15"
モーメント剛性 ピッチング
0.01"/N.cm
モーメント剛性 ヨーイング
0.01"/N.cm
モーメント剛性 ローリング
0.005"/N.cm
ヨーイング
15"
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
ロストモーション
1μm
位置決め精度
5μm
移動ガイド
クロスローラ
移動量
50mm
近接原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
繰返し位置決め精度
2μm
原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
最小応答分解能 参考
0.1μm
質量
8.7kg
走り平行度
10μm
送りネジ
・ボールネジ径φ10mm ・リード2mm
耐荷重
392N (40.0kgf)
分解能 Full
4μm/パルス
分解能 Half
2μm/パルス
平行度
50μm
センサ 出力論理
・遮光時 出力トランジスタOFF (非導通) リミットセンサ ・遮光時 出力トランジスタON (導通) 原点センサ、近接原点センサ
センサ 消費電流
80mA以下 (1センサあたり20mA以下)
センサ 制御出力
・NPNオープンコレクタ出力 ・DC30V以下50mA以下
センサ 電源電圧
DC5~24V±10％
型番
HST-50X取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | MAXスピード | ステージ材質 | センサ品番 | テーブル面サイズ | バックラッシ | ピッチング | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | ヨーイング | リミットセンサ | ロストモーション | 位置決め精度 | 移動ガイド | 移動量 | 近接原点センサ | 繰返し位置決め精度 | 原点センサ | 最小応答分解能 参考 | 質量 | 走り平行度 | 送りネジ | 耐荷重 | 分解能 Full | 分解能 Half | 平行度 | センサ 出力論理 | センサ 消費電流 | センサ 制御出力 | センサ 電源電圧 |
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要見積もり | 10mm/sec | 鉄 | マイクロフォトセンサ GP1S092HCPIF (シャープ (株) ) | 165×165mm | 1μm | 15" | 0.01"/N.cm | 0.01"/N.cm | 0.005"/N.cm | 15" | 有 (NORMAL CLOSE) | 1μm | 5μm | クロスローラ | 50mm | 有 (NORMAL OPEN) | 2μm | 有 (NORMAL OPEN) | 0.1μm | 8.7kg | 10μm |
・ボールネジ径φ10mm ・リード2mm |
392N (40.0kgf) | 4μm/パルス | 2μm/パルス | 50μm |
・遮光時 出力トランジスタOFF (非導通) リミットセンサ ・遮光時 出力トランジスタON (導通) 原点センサ、近接原点センサ |
80mA以下 (1センサあたり20mA以下) |
・NPNオープンコレクタ出力 ・DC30V以下50mA以下 |
DC5~24V±10％ |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
