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返答率
100.0%
返答時間
5.3時間
移動量
5mm
テーブル面サイズ
120×120mm
送りネジ
・ボールネジ径φ8mm ・リード1mm
移動機構 減速比
クサビ方式 1:5
移動ガイド
・クロスローラ ・ボールスプライン
主要材質
アルミ
表面処理
黒アルマイト
質量
3.2kg
分解能 Full
0.4μm/パルス
分解能 Half
0.2μm/パルス
MAXスピード
1.5mm/sec
繰返し位置決め精度
0.8μm
耐荷重
98N (10.0kgf)
モーメント剛性 ピッチング
0.5"/N.cm
モーメント剛性 ヨーイング
0.5"/N.cm
モーメント剛性 ローリング
0.5"/N.cm
ロストモーション
1μm
平行度
80μm
走り平行度
5μm
ピッチング
25"
ヨーイング
25"
センサ品番
マイクロフォトセンサ GP1S097HCZ (シャープ (株) )
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
近接原点センサ
無
モータ タイプ
5相ステッピングモータ 0.75A/相
モータ 品番
PK545-NBW (オリエンタルモーター (株) )
基本ステップ角
0.72°
電源電圧
DC5~24V ±10%
消費電流
60mA以下 (1センサあたり20mA以下)
型番
OSMS120-5ZFW-M6取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 移動量 | テーブル面サイズ | 送りネジ | 移動機構 減速比 | 移動ガイド | 主要材質 | 表面処理 | 質量 | 分解能 Full | 分解能 Half | MAXスピード | 繰返し位置決め精度 | 耐荷重 | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | ロストモーション | 平行度 | 走り平行度 | ピッチング | ヨーイング | センサ品番 | リミットセンサ | 原点センサ | 近接原点センサ | モータ タイプ | モータ 品番 | 基本ステップ角 | 電源電圧 | 消費電流 |
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要見積もり | 5mm | 120×120mm |
・ボールネジ径φ8mm ・リード1mm |
クサビ方式 1:5 |
・クロスローラ ・ボールスプライン |
アルミ | 黒アルマイト | 3.2kg | 0.4μm/パルス | 0.2μm/パルス | 1.5mm/sec | 0.8μm | 98N (10.0kgf) | 0.5"/N.cm | 0.5"/N.cm | 0.5"/N.cm | 1μm | 80μm | 5μm | 25" | 25" | マイクロフォトセンサ GP1S097HCZ (シャープ (株) ) | 有 (NORMAL CLOSE) | 有 (NORMAL OPEN) | 無 | 5相ステッピングモータ 0.75A/相 | PK545-NBW (オリエンタルモーター (株) ) | 0.72° | DC5~24V ±10% | 60mA以下 (1センサあたり20mA以下) |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
