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返答率
100.0%
返答時間
5.3時間
MAXスピード
2mm/sec
ステージ上面材質
アルミ
センサ品番
マイクロフォトセン PM-U25 (SUNX (株) ) リミットセンサ
テーブル面サイズ
40×40mm
ピッチング
25"
モーメント剛性 ピッチング
2"/N.cm
モーメント剛性 ヨーイング
2"/N.cm
モーメント剛性 ローリング
1"/N.cm
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
ロストモーション
5μm
移動ガイド
アウターレール構造
移動量
5mm
近接原点センサ
無
繰返し位置決め精度
5μm
原点センサ
無
最小応答分解能 参考
0.1μm
質量
0.35kg
走り平行度
15μm
送りネジ
・ボールネジ径φ6mm ・リード1mm
耐荷重
19.6N (2.0kgf)
表面処理
黒アルマイト
分解能 Full
1μm/パルス
分解能 Half
0.5μm/パルス
平行度
50μm
センサ 出力論理
遮光時 出力トランジスタOFF (非導通)
センサ 消費電流
30mA以下 (1センサあたり15mA以下)
センサ 制御出力
・NPNオープンコレクタ出力 ・DC30V以下50mA以下
モータ ステップ角
0.72°
モータ タイプ
5相ステッピングモータ 0.35A/相
モータ 品番
PK513PA-C21 (□20mm)
型番
OSMS40-5ZF-0B取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | MAXスピード | ステージ上面材質 | センサ品番 | テーブル面サイズ | ピッチング | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | リミットセンサ | ロストモーション | 移動ガイド | 移動量 | 近接原点センサ | 繰返し位置決め精度 | 原点センサ | 最小応答分解能 参考 | 質量 | 走り平行度 | 送りネジ | 耐荷重 | 表面処理 | 分解能 Full | 分解能 Half | 平行度 | センサ 出力論理 | センサ 消費電流 | センサ 制御出力 | モータ ステップ角 | モータ タイプ | モータ 品番 |
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要見積もり | 2mm/sec | アルミ | マイクロフォトセン PM-U25 (SUNX (株) ) リミットセンサ | 40×40mm | 25" | 2"/N.cm | 2"/N.cm | 1"/N.cm | 有 (NORMAL CLOSE) | 5μm | アウターレール構造 | 5mm | 無 | 5μm | 無 | 0.1μm | 0.35kg | 15μm |
・ボールネジ径φ6mm ・リード1mm |
19.6N (2.0kgf) | 黒アルマイト | 1μm/パルス | 0.5μm/パルス | 50μm | 遮光時 出力トランジスタOFF (非導通) | 30mA以下 (1センサあたり15mA以下) |
・NPNオープンコレクタ出力 ・DC30V以下50mA以下 |
0.72° | 5相ステッピングモータ 0.35A/相 | PK513PA-C21 (□20mm) |
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返答時間: 5.31時間
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
