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返答率
100.0%
返答時間
5.3時間
カタログコード
W2102
CADデータ
DXF、STP、IGES、SAT
構成製品/品番
X軸、Y軸:TAMM100-50C Z軸:TAMM100-100C
移動量
X軸、Y軸:50mm Z軸:100mm
分解能 (Full)
X軸、Y軸、Z軸:2µm
分解能 (Half)
X軸、Y軸、Z軸:1µm
位置決め精度
X軸、Y軸、Z軸:6µm以内
繰り返し位置決め精度
X軸、Y軸、Z軸:1µm以内
観察倍率
0.66倍~4倍
カメラ視野
1.42mm×1.07mm~8.63mm×6.47mm
分解能
16.8µm~7.1µm
型番
OBUT-VA取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | カタログコード | CADデータ | 構成製品/品番 | 移動量 | 分解能 (Full) | 分解能 (Half) | 位置決め精度 | 繰り返し位置決め精度 | 観察倍率 | カメラ視野 | 分解能 |
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要見積もり | W2102 | DXF、STP、IGES、SAT |
X軸、Y軸:TAMM100-50C Z軸:TAMM100-100C |
X軸、Y軸:50mm Z軸:100mm |
X軸、Y軸、Z軸:2µm | X軸、Y軸、Z軸:1µm | X軸、Y軸、Z軸:6µm以内 | X軸、Y軸、Z軸:1µm以内 | 0.66倍~4倍 | 1.42mm×1.07mm~8.63mm×6.47mm | 16.8µm~7.1µm |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40