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光源
150WHaランプ
ビーム経
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ)
偏光素子
グラントムソンプリズム
位相板
広帯域位相板
分光器
マルチチャンネル型
受光素子
2048分割CCDタイプ
波長分解能
1.5nm
測定精度
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時)
測定対象サンプル
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜
解析ソフトウエアー
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析
分光解析ソフト
“SCOUT” (オプション)
PC
IBM-PCまたは互換機
寸法
300W×400D×450Hmm
型番
MASS-105MH取扱企業
ファイブラボ株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 測定方式 | 光源 | ビーム経 | 偏光素子 | 位相板 | 分光器 | 受光素子 | 波長領域 | 波長分解能 | 測定精度 | 入射角 | サンプルステージ | 測定対象サンプル | 解析ソフトウエアー | 分光解析ソフト | PC | 寸法 |
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要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 150WHaランプ | 約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2048分割CCDタイプ | 360~900nm | 1.5nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 自動可変 | 手動θ-Y |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 | 300W×400D×450Hmm |