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4探針プローブ Type A~I【半導体・抵抗率測定】-エヌピイエス株式会社
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全型番で同じ値の指標

プローブ相関精度

±0.5% (1mmピッチ)

S値針間隔精度

±10%

針先端半径

調整値±10g

針圧力精度

±10%

絶縁抵抗値

針間隔に対し±0.5%, >1×10^5MΩ@500V

プラナリティ (針先並び)

<10μm

この製品について

■高性能電極として世界標準となった4探針プローブ

■概要

 抵抗率を測定する時に用いる高精度なプローブです。 現在、導電性材料の抵抗値を測定する最も信頼性の高い方法として4探針法があります。その測定で使用されるプローブの機械的性能が測定精度を大きく左右することは多くの測定技術者が認めるところです。特に、接触式の破壊検査における半導体の測定には精度とともに耐久性が課題となります。長年の経験と実績を誇るNPS製の4探針プローブは高精度な半導体プローブとして世界的に認められており、標準プローブとして測定器メーカー各社に採用いただいております。

■用途

 各種電子材料上に針4本を同間隔で直列に当て、外側の端子間に電流を印加し内側2本の端子で電圧を検出すること で抵抗率やシート抵抗を測定することができます。4探針プローブは簡便で高確度に針当てができ、良好な測定結果が得られるため、電気伝導度評価方法として多くの工業分野で用いられています。4探針プローブは専用の測定器に 接続して使用いたします。

■特⾧

 新規開発のニードルは、接続部に高耐久性ワンピース構造の低抵抗金属を使用することで良好な導電性を保ち、さらにNPS独自の「マイクロエッジコンタクト加工処理」(IP,MT,SB,EP等)により、多様化する試料の安定した測定が保証されます。(日本国内アセンブル品、調整品、および、アフターサービス品)NPSは、4探針プローブの取扱いを開始して半世紀が経つ専門会社です。プローブに関する技術相談、プローブ修理・検定等、また他社製プローブの調整も行ないます。(ナプソン、KLA、MPP、共和理研、他メーカー対応)  「マイクロエッヂコンタクト」は、使い切りのType NPとメンテナンスが可能なType FP、PE、PRとA,B,C,D,E,F,G,H,I の各タイプに採用し、また、不具合発生の原因となっていたジュエル式ガイド等の各パーツに代わる高品質部品を使用することで高耐久性化と性能の向上を追求しております。 その他、針先から線終端まで完全結線、各社測定器に対応、針間隔のS値*管理により個体の相関性±0.5%、接触 安定性の良いリーフスプリング式加圧等の特⾧を有しております。

  • 型番

    Type A~I

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4探針プローブ Type A~I【半導体・抵抗率測定】 Type A~Iの性能表

商品画像 価格 (税抜) プローブ相関精度 S値針間隔精度 針先端半径 針圧力精度 絶縁抵抗値 プラナリティ (針先並び)
4探針プローブ Type A~I【半導体・抵抗率測定】-品番-Type A~I 要見積もり ±0.5% (1mmピッチ) ±10% 調整値±10g ±10% 針間隔に対し±0.5%, >1×10^5MΩ@500V <10μm

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使用用途

#パッケージ検査 #ウエハ検査 #マスク検査 #回路パターン検査 #表面欠陥検査 #接合部検査 #絶縁特性評価 #信頼性評価 #材料評価 #電気特性測定 #故障解析 #オンライン検査

処理能力 秒/個

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 3

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

分解能 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 30 30 - 50

供給方式

トレー スティック パーツフィーダ コンベア マガジンローダ ダイシングフレームカセット ウエハリング テープフィーダ

コンタクト

テストヘッド対応 ケルビンコンタクト ソケット ソケットボード プローブピン

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会社概要

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 エヌピイエス株式会社は、半導体や電子工業分野で必要な検査測定機器や製造装置等の輸...

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