ORES-6000 | 超微細デジタル光学顕微鏡 ORES-6000
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ステージ動作

電動ステージ

モーター

5相ステッピングモーター

ステージサイズ

100mm × 100mm

XYステージ移動量

±50mm

XYステージ分解能

0.016µm (軸毎繰り返し精度±0.08µm)

Zステージ移動量

±2.5mm

Zステージ分解能

0.001µm

θステージ移動量

±135°

θステージ分解能

0.000016°

全1種類の型番を一覧でみる

この製品について

超微小径 (1μm) やウェハチップのパターン等をSEMを使用せずに観察することが可能となります。

4つの特徴
■全ての顕微鏡機能を1台で網羅。総合倍率12,000倍を実現。広視野角+超微細分解能の光学系。画像分解能30nm以下～SEM並みの観察機能～4,500倍の倍率で110um×80unの広い視野を実現。1umの加工痕や1um以下のダストまで観察できる。光学系の総合倍率で12,000倍まで選択可能。

■超長作動距離観察系。作動距離10mm以上光軸を1本化することで、すっきりした光学系を実現。長い作動距離+微細観察 (1um以下 ) を実現ウェハー断面観察にも最適。

■選べるラインナップ。様々なご要望に合わせられる豊富なラインナップを用意・簡易顕微鏡スタンド
・超精密電動ステージ
・鏡筒上下調整用手動フォーカシングユニット
・手動XYステージ 
・電動レボルバー・スライド式レボルバー (レンズ搭載 4～6本 ) 
・カメラの種類や照明色も色々選べる、観察用途に合わせて自由にカスタム可能

■選べるラインナップ。光学系・カメラ・照明を自由に選定「カラー、モノクロ、偏光」
・明視野画像
・暗視野画像
・最適NA選定
・対物レンズ選定
・明視野、明暗視野、高解像度、NA

■選べるラインナップ。ステージ系・自動ステージは、優れた位置精度をご提供できます。 (1～4軸選択自由：X,Y,Z,θ ) 
・XY繰り返し位置精度：±0.08um
・Z軸：ストローク±2.5mm (最小分解能 1nm ) 
・Θ軸：±135° (最小分解能 0.000016° ) 
・ステージ上面平坦度：14um (4軸 組上げ後 ) 
・この他にもご要望に応じたステージをご用意できます。

■レーザー機能の追加レーザーユニットをORES-6000シリーズへ追加することでレーザー加工機能を追加することが出来ます。レーザー不使用時はもう一つカメラ増設も可能。レーザーユニットをマウントユニットに搭載することで観察の性能はそのままにレーザー加工機 (ORES-5000シリーズ ) にアップグレード対応します。試料へのマーキング、回路のパターンカット等を顕微鏡の映像を確認しながらレーザー加工が行えます。

型番
ORES-6000

シリーズ
超微細デジタル光学顕微鏡 ORES-6000

取扱企業
オオクマ電子株式会社

カテゴリ

観察機器

光学顕微鏡

観察機器

実体顕微鏡

観察機器

デジタル顕微鏡

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超微細デジタル光学顕微鏡 ORES-6000 ORES-6000の性能表

商品画像	価格 (税抜)	ステージ動作	モーター	ステージサイズ	XYステージ移動量	XYステージ分解能	Zステージ移動量	Zステージ分解能	θステージ移動量	θステージ分解能
	要見積もり	電動ステージ	5相ステッピングモーター	100mm × 100mm	±50mm	0.016µm (軸毎繰り返し精度±0.08µm)	±2.5mm	0.001µm	±135°	0.000016°