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マスフローコントローラ SEC-E series-エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

57.1時間

全型番で同じ値の指標

標準流量レンジ

10 SCCM ~ 10 SLM

流量制御範囲

2 ~ 100% F.S.

流量精度

±1% F.S.

電源

±15 VDC

通信

Analog (0 - 5VDC)

この製品について

■概要

SECシリーズは、堀場エステックの流量計測・制御技術の粋を結集し開発された純国産の高性能マスフローコントローラです。マスフローコントローラは流体の質量流量計を計測・制御します。 搭載された高性能流量センサーおよび高分解能流量制御バルブにより、使用環境の変化や供給圧変動の影響を受けず、外部より電気信号により与えられる流量設定値に流量制御を行います。高精度化、多機能化への対応として、CPUを搭載したデジタルマスフローコントローラもラインナップしています。

■シリーズ特長

・高精度、高速応答、高信頼性のベーシックモデル ・MK3タイプは校正ガスを限定することにより、コストパフォーマンスを追求したモデル (校正ガス:N2/O2/Air/H2/He/Ar) ・大流量モデル (E431X/E441X) はMAX 200SLMまで対応

  • 型番

    SEC-E40

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マスフローコントローラ SEC-E series SEC-E40の性能表

商品画像 価格 (税抜) 標準流量レンジ 流量制御範囲 流量精度 電源 通信
マスフローコントローラ SEC-E series-品番-SEC-E40 要見積もり 10 SCCM ~ 10 SLM 2 ~ 100% F.S. ±1% F.S. ±15 VDC Analog (0 - 5VDC)

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使用用途

#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合

制御方式

閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型

測定原理

熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式

流体種類対応

気体用 液体用 高純度流体用

出力信号形式

アナログ出力型 デジタル出力型

制御流量範囲 %F.S

2 - 5 5 - 100

流量精度 %F.S

0 - 1 1 - 2 2 - 5

使用保証温度 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

供給電源電圧消費電流 mA

25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350

耐圧力 MPa(G)

0 - 1 1 - 4 4 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本パイオニクス株式会社は、常温吸着式精製装置や常温吸着式空気精製装置といったガス精製装置の製造販売、除害筒・検知剤やアンモニア分解除害装置など排ガス処理装置の製造販売、室圧モニターや高精度圧力センサなど各種計測機器の製...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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