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フルスケール流量 (N2相当)
10 SCCM ~ 50 SLM
精度
±1.0% S.P. (Flow rate＞25% F.S.) ±0.25% F.S. (Flow rate≦25% F.S.)
電源
±15 VDC ±24 VDC (Z504、Z507series)
通信
Analog (0 - 5 VDC) Digital (RS-485 F-net) DeviceNet™ EtherCAT®
型番
マスフローコントローラ 10 SCCM ~ 50 SLM取扱企業
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社カテゴリ
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マスフローコントローラの製品125点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | フルスケール流量 (N2相当) | 精度 | 電源 | 通信 |
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要見積もり | 10 SCCM ~ 50 SLM |
±1.0% S.P. (Flow rate＞25% F.S.) ±0.25% F.S. (Flow rate≦25% F.S.) |
±15 VDC ±24 VDC (Z504、Z507series) |
Analog (0 - 5 VDC) Digital (RS-485 F-net) DeviceNet™ EtherCAT® |
マスフローコントローラの中でこの商品と同じ値をもつ製品
制御方式が閉ループ制御型の製品
マスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
