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距離・厚さ非接触測定用高精度 白色光干渉計 interferoMETER-Micro-Epsilon Japan株式会社

interferoMETER 5420 | 距離・厚さ非接触測定用高精度 白色光干渉計 interferoMETER
Micro-Epsilon Japan株式会社

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型番説明

ウエハーの高精度厚み測定に対応した白色光干渉計

測定範囲

直線性

分解能

この製品について

マイクロエプシロン社の革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚み測定におけるベンチマークを打ち立てています。サブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、比較的広い測定範囲と長いオフセット距離を提供しています。

■特徴

・ 絶対の距離とマルチピーク距離測定 ・ 距離に依存しない厚みと重層厚み測定 ・ クラス最高の<30ピコメートルの分解能と卓越した直線性 ・ 新しい評価アルゴリズムと能動温度補正による高い信号安定性 ・ Webインターフェースを介した容易なパラメータ化 ・ バス接続も可能な多数のインターフェース

■三機種の干渉計をご用意

・高精度な工業用距離測定のためのIMS5400-DS ・正確な厚み測定のためのIMS5400-TH ・ピコメートル分解能の距離測定に対応した真空環境に適したIMS5600-DS

  • 型番

    interferoMETER 5420

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距離・厚さ非接触測定用高精度 白色光干渉計 interferoMETER interferoMETER 5420の性能表

商品画像 価格 (税抜) 直線性 分解能
距離・厚さ非接触測定用高精度 白色光干渉計 interferoMETER-品番-interferoMETER 5420 要見積もり 20 µm 1 nmまで

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使用用途

#表面形状解析 #厚み測定 #平坦度評価 #光学特性評価 #材料研究 #精密加工検査 #波面解析 #振動解析 #光通信評価

光源方式

レーザ 白色光

光路構成

マイケルソン ファブリペロー サビーヌ

測定対象

変位測定型 表面形状型 薄膜厚測定型

分解能 nm

0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,500

測定範囲 mm

0 - 5 5 - 50

波⻑レンジ nm

300 - 400 400 - 700 700 - 1,300 1,300 - 1,800

測定波⻑ nm

400 - 450 450 - 700 700 - 800

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会社概要

1968年創業ドイツ老舗の変位計のオーソリティメーカーです。
製造現場で安心して使用可能な様々なセンサーの開発・製造・販売・アフターサービスを行っております。幅広いスタンダード品を用意しておりますが、仕様変更・カ...

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