マイクロエプシロン社の革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚み測定におけるベンチマークを打ち立てています。サブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、比較的広い測定範囲と長いオフセット距離を提供しています。

■特徴・ 絶対の距離とマルチピーク距離測定
・ 距離に依存しない厚みと重層厚み測定
・ クラス最高の<30ピコメートルの分解能と卓越した直線性
・ 新しい評価アルゴリズムと能動温度補正による高い信号安定性
・ Webインターフェースを介した容易なパラメータ化
・ バス接続も可能な多数のインターフェース

■三機種の干渉計をご用意・高精度な工業用距離測定のためのIMS5400-DS
・正確な厚み測定のためのIMS5400-TH
・ピコメートル分解能の距離測定に対応した真空環境に適したIMS5600-DS

型番
interferoMETER 5400-DS

シリーズ
距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER

取扱企業
Micro-Epsilon Japan株式会社

カテゴリ

測定機器

干渉計

センサー

エッジセンサー

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距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER interferoMETER 5400-DSの性能表

商品画像	価格 (税抜)	測定範囲	直線性	分解能	測定レート
	要見積もり	2.1mm	< ±50 nm	< 1 nm	最大6 kHz

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分解能 nm

0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,500

測定範囲 mm

0 - 5 5 - 50

波⻑レンジ nm

300 - 400 400 - 700 700 - 1,300 1,300 - 1,800

測定波⻑ nm

400 - 450 450 - 700 700 - 800

測定ソフト

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interferoMETER 5400-DS | 距離・厚さ非接触測定用高精度白色光干渉計 interferoMETER
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