MPCVD-ZnO | 酸化亜鉛ナノロッド生成装置 MPCVD-ZnO
株式会社マイクロフェーズ

株式会社マイクロフェーズの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

87.8時間

全型番で同じ値の指標

管状炉温度制御

1ゾーンプログラム付温度調節計

管状炉常用使用温度

400~1,000℃

管状炉電気容量

500W

炉心管サイズ

OD30mm×ID26mm×L750mm

排気ポンプロータリーポンプ外形寸法

W156mm×H200mm×D300mm

管状炉外形寸法

W300mm×H200mm×D186mm

外形寸法

W900mm×H600mm×D500mm

ガス制御面積式流量計導入ガス種

キャリアガス：N2 or Ar 酸化ガス：O2

真空計

ブルドン管真空計

炉心管材質

石英

全1種類の型番を一覧でみる

この製品について

酸素ガスを供給しながらZn原料を加熱して蒸発させると、Zn蒸気と酸素ガスと反応し、ZnOが生成されます。 六方晶のZnOは、そのC軸の成長速度が非常に速いため、結果としてロッド状に成長します。 一方、ZnOのC面の結晶格子定数がサファイア基板やシリコン基板の結晶格子定数に近いため、 エピタキシャル成長により、ZnOのC面 (C軸と垂直) が基板に平行になりやすい。 つまり、ロッドが基板に垂直に成長することになります。 

Au薄膜を基板に成膜するとナノロッドがより成長しやすいことが知られています。 これは、他の繊維状物質  (CNT、Auナノワイヤー、SICウイスカーなど) と同じように、VLS成長機構に起因する現象です。 この現象により、サファイア以外の基板にも、ナノロッドが成長できるようになります。

■目的ZnOナノロッドを基板上に成長させる管状炉タイプ (φ30mm) の熱CVD装置です。

■特徴        ・当社独自の生成原理に基づく装置設計とプロセス条件設定
・サファイア、シリコン基板に垂直配向ZnOナノロッドが成長可能

型番
MPCVD-ZnO

シリーズ
酸化亜鉛ナノロッド生成装置 MPCVD-ZnO

取扱企業
株式会社マイクロフェーズ

カテゴリ

半導体製造

CVD装置

この商品に関する問題を報告する

160人以上が見ています

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

CVD装置注目ランキング

CVD装置の製品67点中、注目ランキング上位6点

PETボトル用プラズマCVD装置シングルボトルDLC成膜装置マニュアルローディング

ジャパンクリエイト株式会社

5.0 企業レビュー

670人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat (エココート)

ハイソル株式会社

500人以上が見ています

最新の閲覧: 13時間前

酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置

ジャパンクリエイト株式会社

5.0 企業レビュー

470人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

PETボトル用プラズマCVD装置リニアタイプDLC成膜装置オートマチックローディング

ジャパンクリエイト株式会社

5.0 企業レビュー

470人以上が見ています

ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B

アリオス株式会社

430人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

RFプラズマCVD装置

株式会社MPS

370人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

CVD装置注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B

アリオス株式会社

430人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

返答時間: 2.38時間

ダイヤモンド合成用HF-CVD装置 HFCVDシリーズ

アリオス株式会社

330人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

返答時間: 2.38時間

プラズマCVD実験装置 PCVD-R100

アリオス株式会社

330人以上が見ています

最新の閲覧: 51分前

返答時間: 2.38時間

真空乾燥装置・真空ベーキング装置小型CVD装置 SFCVシリーズ

入江株式会社

4.8 企業レビュー

210人以上が見ています

返答時間: 11.30時間

大型基板用PECVD COPRA Linear Sources

株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

140人以上が見ています

返答時間: 9.56時間

MOCVD装置横型リアクタ SH4001

株式会社エピクエスト

110人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

返答時間: 18.72時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

酸化亜鉛ナノロッド生成装置 MPCVD-ZnO MPCVD-ZnOの性能表

商品画像	価格 (税抜)	管状炉温度制御	管状炉常用使用温度	管状炉電気容量	炉心管サイズ	排気ポンプロータリーポンプ外形寸法	管状炉外形寸法	外形寸法	ガス制御面積式流量計導入ガス種	真空計	炉心管材質
	要見積もり	1ゾーンプログラム付温度調節計	400~1,000℃	500W	OD30mm×ID26mm×L750mm	W156mm×H200mm×D300mm	W300mm×H200mm×D186mm	W900mm×H600mm×D500mm	キャリアガス：N2 or Ar 酸化ガス：O2	ブルドン管真空計	石英