MPNP | 卓上ナノ粒子気相生成装置 MPNP
株式会社マイクロフェーズ

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面積式流量計

1ライン

ヒーター

25mm×40mm、常用使用温度：400~800℃

排気ポンプロータリーポンプ外形寸法

W156mm×H200mm×D300mm

本体

パイレックス製チャンバー、パージガス導入ライン、排気ポンプライン、リークライン、真空計、電流導入端子ポート、外形寸法：W400mm×H350mm×D265mm

電源

定格出力電力：400W、AC90-250V　単相50-60Hz、外形寸法：W110mm×H130mm×D405mm

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この製品について

各種金属 (Au, Ag, Cu, Al, Ni, Co) の原料を不活性ガス中で蒸発させると、 金属蒸気が周囲の不活性ガス分子との衝突を繰り返すことにより、蒸気が冷却され、ナノ粒子に成長します。 金属材料種類やプロセス条件にもよりますが、10－30nmのナノ粒子が生成されます。 一般的に、粒径がその材料の融点と反比例し、他の手法のナノ粒子に比べて非常にシャープな粒径分布を有します。 

生成されたナノ粒子を基板に堆積させ、ナノ粒子膜を形成することができます。 ほとんどの金属は、ナノ粒子になると、表面プラズモンの影響などで、黒く見えます。 Auの金色やAgの銀色、あるいはCuの銅色は、すべて消え、同じ黒になります。 つまり、色からナノ粒子になっているかどうかを判断することも可能です。 金がナノ粒子になると、触媒作用が現われます。 

またバイオセンサーの開発に役立っています。 ニッケルやコバルト、鉄などの磁性体は、ナノ粒子になると、強磁性ではなくなり、超常磁性を示します。 物質のナノサイズに由来する量子効果や発光特性などの新規物性の開発に適した実験装置です。

■目的金属ナノ粒子を気相中で生成する小型実験装置です。

■特徴        ・不活性ガス流量計を搭載、微小流量の制御が可能
・各種金属ナノ粒子 (粒径10-30nm) を簡単に生成
・融点が約1600℃以下の金属が対象

型番
MPNP

シリーズ
卓上ナノ粒子気相生成装置 MPNP

取扱企業
株式会社マイクロフェーズ

カテゴリ

半導体製造

CVD装置

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卓上ナノ粒子気相生成装置 MPNP MPNPの性能表

商品画像	価格 (税抜)	面積式流量計	ヒーター	排気ポンプロータリーポンプ外形寸法	本体	電源
	要見積もり	1ライン	25mm×40mm、常用使用温度：400~800℃	W156mm×H200mm×D300mm	パイレックス製チャンバー、パージガス導入ライン、排気ポンプライン、リークライン、真空計、電流導入端子ポート、外形寸法：W400mm×H350mm×D265mm	定格出力電力：400W、AC90-250V　単相50-60Hz、外形寸法：W110mm×H130mm×D405mm