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PLPコーター向け TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置-タツモ株式会社

全型番で同じ値の指標

基板サイズ

標準:510x515mm

基板厚み:

標準:0.5mm~2.0mm

ポンプ吐出容量

標準:20cc、200cc

塗布液粘度

標準:0.5~200cP

この製品について

■製品特徴

・高性能定量吐出ポンプ ・高精度ノズル ・ロボット搬送に対応 ・ロック機構付安全カバー搭載 ・ノズル先端管理ユニット搭載 ・塗布液&洗浄液自動供給システム搭載 ・基板の反りに対応 ・基板表面の凸凹に対応 ・ジョブチェンジ (液替え) 仕様による時間短縮 ・ EFEM対応 ・ホットプレート付減圧乾燥機&プリベークもセットで販売 ・新規分野に参入

  • 型番

    ガントリー移動型塗布装置

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PLPコーター向け TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置 ガントリー移動型塗布装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) 基板サイズ 基板厚み: ポンプ吐出容量 塗布液粘度
PLPコーター向け TZシリーズ ガントリー移動型塗布装置-品番-ガントリー移動型塗布装置 要見積もり 標準:510x515mm 標準:0.5mm~2.0mm 標準:20cc、200cc 標準:0.5~200cP

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使用用途

#成膜 #洗浄 #検査 #貼合 #剥離 #接合 #エッチング #アライメント

成膜方式

CVD装置 ALD装置

微細加工方式

フォトリソグラフィ装置 レーザー加工装置

検査方式

光学検査装置 顕微鏡検査装置

塗布方式

ディスペンス塗布 スリット塗布

幅寸法 mm

0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 5,000 5,000 - 10,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県

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