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返答時間
49.7時間
排気対象ガス
活性ガス
再生排気速度
0.03m3/s N2ガス測定時
到達圧力
10^-9Pa
動作圧力 推奨値
<8.0×10^-3Pa
内容積
0.67X10^-3m3
ポンプ素子数
CU型セル×1式
接続フランジ型式
UFC070
印加電圧
DC+7.5kV
加熱ヒータ
設定なし
標準ベークアウト温度
250℃
質量
9.5 kg
外形寸法W×D×H
103×183×187mm
使用環境 (温度範囲)
5~40℃
使用環境 (湿度範囲)
85%以下 (結露なきこと)
ポンプ固定ボルト穴寸法
4か所-M5 深さ10mm
推奨コントローラ
GST-07L-B
型番
PST-030CUシリーズ
スパッタイオンポンプ PST取扱企業
株式会社アルバックカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 排気対象ガス | 再生排気速度 | 到達圧力 | 動作圧力 推奨値 | 内容積 | ポンプ素子数 | 接続フランジ型式 | 印加電圧 | 加熱ヒータ | 標準ベークアウト温度 | 質量 | 外形寸法W×D×H | 使用環境 (温度範囲) | 使用環境 (湿度範囲) | ポンプ固定ボルト穴寸法 | 推奨コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 活性ガス | 0.03m3/s N2ガス測定時 | 10^-9Pa | <8.0×10^-3Pa | 0.67X10^-3m3 | CU型セル×1式 | UFC070 | DC+7.5kV | 設定なし | 250℃ | 9.5 kg | 103×183×187mm | 5~40℃ | 85%以下 (結露なきこと) |
4か所-M5 深さ10mm |
GST-07L-B |
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使用用途が半導体電子部品の製品
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使用用途
#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装動作原理
油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型構造形式
直結型 ベルト駆動型圧力領域
低真空用 中真空用 高真空用冷却方式
空冷型 水冷型到達真空度 Pa
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000排気速度 L/min
0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000モータ出力 kW
0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150質量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000騒音値 dB(A)
40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85電源電圧 V
0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500
