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排気対象ガス
活性ガス
再生排気速度
0.03m3/s N2ガス測定時
到達圧力
10^-9Pa
動作圧力 推奨値
<8.0×10^-3Pa
内容積
0.67X10^-3m3
ポンプ素子数
CU型セル×1式
接続フランジ型式
UFC070
印加電圧
DC+7.5kV
加熱ヒータ
設定なし
標準ベークアウト温度
250℃
質量
9.5 kg
外形寸法W×D×H
103×183×187mm
使用環境 (温度範囲)
5~40℃
使用環境 (湿度範囲)
85%以下 (結露なきこと)
ポンプ固定ボルト穴寸法
4か所-M5 深さ10mm
推奨コントローラ
GST-07L-B
型番
PST-030CUシリーズ
スパッタイオンポンプ PST取扱企業
株式会社アルバックカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 排気対象ガス | 再生排気速度 | 到達圧力 | 動作圧力 推奨値 | 内容積 | ポンプ素子数 | 接続フランジ型式 | 印加電圧 | 加熱ヒータ | 標準ベークアウト温度 | 質量 | 外形寸法W×D×H | 使用環境 (温度範囲) | 使用環境 (湿度範囲) | ポンプ固定ボルト穴寸法 | 推奨コントローラ |
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要見積もり | 活性ガス | 0.03m3/s N2ガス測定時 | 10^-9Pa | <8.0×10^-3Pa | 0.67X10^-3m3 | CU型セル×1式 | UFC070 | DC+7.5kV | 設定なし | 250℃ | 9.5 kg | 103×183×187mm | 5~40℃ | 85%以下 (結露なきこと) |
4か所-M5 深さ10mm |
GST-07L-B |
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