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スパッタイオンポンプ PST-株式会社アルバック

株式会社アルバックの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

73.9時間

全型番で同じ値の指標

排気対象ガス

活性ガス

再生排気速度

0.03m3/s N2ガス測定時

到達圧力

10^-9Pa

動作圧力 推奨値

<8.0×10^-3Pa

内容積

0.67X10^-3m3

ポンプ素子数

CU型セル×1式

接続フランジ型式

UFC070

印加電圧

DC+7.5kV

加熱ヒータ

設定なし

標準ベークアウト温度

250℃

質量

9.5 kg

外形寸法W×D×H

103×183×187mm

使用環境 (温度範囲)

5~40℃

使用環境 (湿度範囲)

85%以下 (結露なきこと)

ポンプ固定ボルト穴寸法

4か所-M5 深さ10mm

推奨コントローラ

GST-07L-B

この製品について

スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した、超高真空領域での排気特性を強化したポンプです。新型素子と磁場の最適化を図ることにより、極・超高真空領域での排気特性を向上させています。

■特長

・極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-9Pa台の到達圧力を実証。 ・希ガス排気強化型 (AU型) はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。 (当社比) ・超高真空領域において大きな排気速度を実現。 ・短時間で超高真空領域まで排気可能。 ・超高真空領域における優れた起動特性。 (放電が超高真空領域まで持続)

■用途

・加速器 ・電子顕微鏡 ・電子線描画装置 ・振動を嫌う分析装置 ・極・超高真空環境の利用など

  • 型番

    PST-030CU

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スパッタイオンポンプ PST PST-030CUの性能表

商品画像 価格 (税抜) 排気対象ガス 再生排気速度 到達圧力 動作圧力 推奨値 内容積 ポンプ素子数 接続フランジ型式 印加電圧 加熱ヒータ 標準ベークアウト温度 質量 外形寸法W×D×H 使用環境 (温度範囲) 使用環境 (湿度範囲) ポンプ固定ボルト穴寸法 推奨コントローラ
スパッタイオンポンプ PST-品番-PST-030CU 要見積もり 活性ガス 0.03m3/s N2ガス測定時 10^-9Pa <8.0×10^-3Pa 0.67X10^-3m3 CU型セル×1式 UFC070 DC+7.5kV 設定なし 250℃ 9.5 kg 103×183×187mm 5~40℃ 85%以下 (結露なきこと) 4か所-M5
深さ10mm
GST-07L-B

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

73.9時間

会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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