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UV露光装置 LUV-1000-壺坂電機株式会社

全型番で同じ値の指標

光源

超高圧水銀ランプ 2kW

ランプ寿命

500 [H]

波長 (nm)

300 - 500 管理波長:365

放射照度 (mW/cm2)

30 - 40

全光束 (lm)

90,000

照度面 (WxH) (mm)

150×150

照度ムラ (± %)

有効面内にて5

精度 (%)

コリメーションハーフアングル:2.0 [deg] デクリネーションアングル:0.5 [deg]

表示・操作

専用PCソフトウェア シャッターコントローラー

対応OS

Windows10, 11

試料サイズ (mm x mm)

100 x 100, 0.7t 又は1.1t

マスクサイズ (mm x mm)

127×127, 公差0.5[mm] 厚み2.3[mm]

通信I/F

コネクター:USB 2.0 Type-B 通信:仮想COMポートによるUART

電源電圧

単相200V 50/60Hz

消費電力 (VA)

※40A以下

寸法 (WxHxD) (mm)

1,150mm (W) ×2,010mm (H) ×1,400mm (D)

重量 (kg)

300

この製品について

■特長

・平行度を保証した露光焼付装置 ・超高圧水銀ランプ2kWを搭載 ・専用PCソフトウェアとシャッターコントローラーから制御 ・マスクガラスの平面出し、ガラスとのギャップ調整可能 ・高精度なパターン露光が可能 ・露光方式:コンタクト・プロキシミティ ・マスクサイズの変更などカスタム承ります

  • 型番

    LUV-1000

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UV露光装置 LUV-1000 LUV-1000の性能表

商品画像 価格 (税抜) 光源 ランプ寿命 波長 (nm) 放射照度 (mW/cm2) 全光束 (lm) 照度面 (WxH) (mm) 照度ムラ (± %) 精度 (%) 表示・操作 対応OS 試料サイズ (mm x mm) マスクサイズ (mm x mm) 通信I/F 電源電圧 消費電力 (VA) 寸法 (WxHxD) (mm) 重量 (kg)
UV露光装置 LUV-1000-品番-LUV-1000 要見積もり 超高圧水銀ランプ 2kW 500 [H] 300 - 500 管理波長:365 30 - 40 90,000 150×150 有効面内にて5 コリメーションハーフアングル:2.0 [deg] デクリネーションアングル:0.5 [deg] 専用PCソフトウェア シャッターコントローラー Windows10, 11 100 x 100, 0.7t 又は1.1t 127×127, 公差0.5[mm] 厚み2.3[mm] コネクター:USB 2.0 Type-B 通信:仮想COMポートによるUART 単相200V 50/60Hz ※40A以下 1,150mm (W) ×2,010mm (H) ×1,400mm (D) 300

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使用用途

#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

壺坂電機株式会社は、カメラやデジタルカメラ用の検査機や光学精密機器などの開発や製造および販売を手掛けている企業です。 1971年に設立され、当初よりカメラ関係の危機を手掛けてきました。その後、血糖測定器やプリンターヘッ...

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  • 本社所在地: 東京都

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