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レチクル対応 洗浄装置 RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150 (REN) -ヒューグルエレクトロニクス株式会社

ヒューグルエレクトロニクス株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

43.7時間

全型番で同じ値の指標

装置本体

1,230mm (W) ✕2,115mm (L) ✕2,185mm (H) ※突起物含まず

この製品について

レチクル専用容器であるRSP200,及びRSP150のフルオート洗浄システムです。高い洗浄性能を搭載した本装置はナノレベルのパーティクル除去を実現しております。精密洗浄、省スペースをメインコンセプトとしており、効率的な生産環境の構築をサポート致します。

■製品概要

・省フットプリント設計 ・独自の洗浄技術による超精密洗浄 ・高効率乾燥方式による完全乾燥実現 ・全自動POD開閉によるクロスコンタミネーション防止 ・各メーカーのRSP-200/150に対応 ・ロボットハンドセルフクリーニングシステム内蔵

  • 型番

    SR-200/150

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年9月2日にレビュー済み

顧客対応への満足度

丁寧でスピーディーな対応をしていただき、とても助かりました。

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レチクル対応 洗浄装置 RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150 (REN) SR-200/150の性能表

商品画像 価格 (税抜) 装置本体
レチクル対応 洗浄装置 RSP200/150 フルオート洗浄システム SR-200/150 (REN) -品番-SR-200/150 要見積もり 1,230mm (W) ✕2,115mm (L) ✕2,185mm (H) ※突起物含まず

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使用用途

#ウエハ洗浄 #酸化膜除去 #有機物除去 #金属汚染除去 #パーティクル除去 #ドライプロセス #ウエットプロセス #クリーン化管理 #高純度薬液

対応サイズ インチ

0 - 4 4 - 8 8 - 12

装置寸法 mm

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500

本体重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 500

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

43.7時間


企業レビュー

5.0

会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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  • 本社所在地: 東京都

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