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セット方式
マニュアル
処理対象
8インチSMIFPOD/8インチカセット
処理時間
1セット/15分
外形寸法
1,300 (W) ×70 (D) ×1,580 (H) mm (チャンバー扉開口時)
重量
300kg
電源
3相、200VAC (アース付) 、8KVA、50/60Hz
純水 流量
10リットル/min (最低必要流量)
純水 圧力
0.1Mpa
CDA (クリーンドライエアー) 流量
1,600NL/min
CDA (クリーンドライエアー) 圧力
0.7Mpa
排気
排気量2,000NL/min以上
排水
流量40リットル/min以上
型番
IA-8取扱企業
ヒューグルエレクトロニクス株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月2日にレビュー済み
顧客対応への満足度
丁寧でスピーディーな対応をしていただき、とても助かりました。
初回対応までの時間への満足度
4.46時間
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半導体洗浄装置の製品55点中、注目ランキング上位6点
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何社からも電話が来る心配はありません
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複数社に同じ内容の記入は不要です
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商品画像 | 価格 (税抜) | セット方式 | 処理対象 | 処理時間 | 外形寸法 | 重量 | 電源 | 純水 流量 | 純水 圧力 | CDA (クリーンドライエアー) 流量 | CDA (クリーンドライエアー) 圧力 | 排気 | 排水 |
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要見積もり | マニュアル | 8インチSMIFPOD/8インチカセット | 1セット/15分 | 1,300 (W) ×70 (D) ×1,580 (H) mm (チャンバー扉開口時) | 300kg | 3相、200VAC (アース付) 、8KVA、50/60Hz | 10リットル/min (最低必要流量) | 0.1Mpa | 1,600NL/min | 0.7Mpa | 排気量2,000NL/min以上 | 流量40リットル/min以上 |
半導体洗浄装置をフィルターから探すことができます
対応サイズ インチ
0 - 4 4 - 8 8 - 12装置寸法 mm
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500本体重量 kg
0 - 50 50 - 100 100 - 500電源 V
0 - 100 100 - 200 200 - 250