WEIM-6800A | ウエハエッジ外観検査装置 WEIM-6800A
アローズエンジニアリング株式会社

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返答時間

173.3時間

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外形寸法

w1,200×d900×h1,600mm

重量

160kg

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この製品について

■概要カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スループットを実現。25枚収納カセットからウェハを1枚ずつロボットが取り出して自動調芯後に検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。
・傷、異物、チップ、クラックなどの欠陥自動検査ができます。
・搬送時間を含め1枚30秒の高速検査をします。
・新規機能を追加して更に使い易くなった高精度検査機です。
・コンパクトで省電力設計です。AC100V8A
・外形寸法w1200×d900×h1600mm、重量160kg
・カセットをセットして運転ボタンを押すだけでウェハを1枚ずつロボットが取り出し検査ステーションに運びます。 画像調芯後、ウェハ外周の端面と上下面3面を同時に撮影して傷、異物、クラック、チップの欠陥検査をしてカセットに戻します。
・検査はウェハ裏面吸着式でカメラがノッチ/オリフラを識別して最適に制御します。

■特徴・エッジ3面の同時撮影とウエハ全周の撮影と欠陥検査ができます。
・トリプル光学系により1台のラインカメラで3面検査ができます。
・インテグレイト照明がエッジ検査に最適な照明を実現しました。
・オリフラ/ノッチを含めた外観検査ができます。 (ノッチ部はベベル面だけの検査です) 
・計測分解能10μm、検出欠陥サイズ20μm、良否判定欠陥50μmと高性能です。

■機能・自動調芯機構：画像でウエハ中心と検査中心を自動的に合わせます。
・3面独立設定：検査条件のレシピと照明の設定ができます。
・再検査機能：NG判定ウェハの目視再検査ができます。
・表示変更機能：拡大と反転機能で生画像が見やすくなりました。
・大きな汚れやマーキングを欠陥と分離できます。

■検査箇所ウェハの端面A、上面B、下面Cを同時に撮像します。トリプル光学系でベベル面は両面から検査できるので境界部にまたがる欠陥の検査ができます。

■照明、エッジ検査エッジ検査用LEDインテグレイト照明2個、チップ検出用ファイバ照明が標準で附属しています。

型番
WEIM-6800A

シリーズ
ウエハエッジ外観検査装置 WEIM-6800A

取扱企業
アローズエンジニアリング株式会社

カテゴリ

検査装置

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商品画像	価格 (税抜)	外形寸法	重量
	要見積もり	w1,200×d900×h1,600mm	160kg

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