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流量 (N2換算)
10SCCM~5SLM
バルブ動作
ノーマリオープン/ノーマリクローズ
表面処理
精密研磨処理
流量制御範囲
2~100%F.S.
精度
・100%F.S.~25%F.S.：±1.0%S.P. ・25%F.S.~2%F.S.：±0.25%F.S.
再現性
±0.2%F.S.
応答時間
1秒 (代表値)
必要差圧
50~300kPa (D)
最大動作圧
300kPa (G)
耐圧
1MPa (G)
動作温度･湿度範囲 (保存温度･湿度)
5~50℃･0~80%RH (結露無き事) (0~50℃･0~80%RH (結露無き事) )
温度影響 (基準温度25℃) (ゼロ)
±0.02%F.S./℃
温度影響 (基準温度25℃) (スパン)
±0.02%F.S./℃
外部リークレート
1.0×10-11Pa·m3/sec (He) 以下
取り付け姿勢
自由
接ガス部材質
SUS316L、PCTFE、PTFE
アクチュエータ方式
ピエゾアクチュエータ
標準継手
6.35VCR TYPE、6.35SWL TYPE
製品重量
約1.0kg
型番
OZ-1取扱企業
株式会社リンテックカテゴリ
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マスフローコントローラの製品121点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量 (N2換算) | バルブ動作 | 表面処理 | 流量制御範囲 | 精度 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 最大動作圧 | 耐圧 | 動作温度･湿度範囲 (保存温度･湿度) | 温度影響 (基準温度25℃) (ゼロ) | 温度影響 (基準温度25℃) (スパン) | 外部リークレート | 取り付け姿勢 | 接ガス部材質 | アクチュエータ方式 | 標準継手 | 製品重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 10SCCM~5SLM | ノーマリオープン/ノーマリクローズ | 精密研磨処理 | 2~100%F.S. |
・100%F.S.~25%F.S.：±1.0%S.P. ・25%F.S.~2%F.S.：±0.25%F.S. |
±0.2%F.S. | 1秒 (代表値) | 50~300kPa (D) | 300kPa (G) | 1MPa (G) | 5~50℃･0~80%RH (結露無き事) (0~50℃･0~80%RH (結露無き事) ) | ±0.02%F.S./℃ | ±0.02%F.S./℃ | 1.0×10-11Pa·m3/sec (He) 以下 | 自由 | SUS316L、PCTFE、PTFE | ピエゾアクチュエータ | 6.35VCR TYPE、6.35SWL TYPE | 約1.0kg |
マスフローコントローラの中でこの商品と同じ値をもつ製品
制御方式が閉ループ制御型の製品
FCST1005 (M) F / FCST1005 (M) FD | デジタルマスフローコントローラー
エフコン株式会社
1850人以上が見ています
返答時間: 15.63時間
マスフローコントローラ
FCST1030 (M) F / FCST1030 (M) FD | デジタルマスフローコントローラー
エフコン株式会社
1850人以上が見ています
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マスフローコントローラマスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
