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流量 (N2換算)
10~5,000SCCM
流量制御範囲
2~100%F.S.
バルブ動作
ノーマリクローズ
精度
±1.0%F.S.
再現性
±0.2%F.S.
応答時間
1sec
アナログ流量設定信号
0~5VDC
アナログ流量出力信号
0~5VDC
必要差圧
50~300kPa
耐圧
1MPa (G)
使用保証温度
・-L：80~100℃ 0~80%RH ・-H：100~120℃ 0~80%RH
ベーキング温度
150℃
リークレート
1×10-11Pa･m3/sec He
接ガス部材質
SUS316L,PCTFE
シール材
Au
所要電源
+15VDC±3% 100mA,-15VDC±3% 200mA
取付姿勢
自由
アナログコネクタ
Dsub 9pin
デジタルインターフェイス
モジュラジャック RJ45/RS-485
バルブ方式
ソレノイドアクチュエータ
重量
1.2kg
型番
MC-3102L-TC取扱企業
株式会社リンテックカテゴリ
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電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量 (N2換算) | 流量制御範囲 | バルブ動作 | 精度 | 再現性 | 応答時間 | アナログ流量設定信号 | アナログ流量出力信号 | 必要差圧 | 耐圧 | 使用保証温度 | ベーキング温度 | リークレート | 接ガス部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付姿勢 | アナログコネクタ | デジタルインターフェイス | バルブ方式 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 10~5,000SCCM | 2~100%F.S. | ノーマリクローズ | ±1.0%F.S. | ±0.2%F.S. | 1sec | 0~5VDC | 0~5VDC | 50~300kPa | 1MPa (G) |
・-L：80~100℃ 0~80%RH ・-H：100~120℃ 0~80%RH |
150℃ | 1×10-11Pa･m3/sec He | SUS316L,PCTFE | Au | +15VDC±3% 100mA,-15VDC±3% 200mA | 自由 | Dsub 9pin | モジュラジャック RJ45/RS-485 | ソレノイドアクチュエータ | 1.2kg |
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エフコン株式会社
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マスフローコントローラマスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
