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流量 (N2換算)
10~5,000SCCM
流量制御範囲
2~100%F.S.
バルブ動作
ノーマリオープン、ノーマリクローズ
精度
・100%F.S.~10%F.S.：±1.0%S.P. ・10%F.S.~2%F.S.：±0.1%F.S.
再現性
±0.1%F.S.
応答時間
1sec
必要差圧
50~300kPa
耐圧
1MPa (G)
温度影響 (Zero)
±0.02%F.S./℃
温度影響 (Span)
±0.02%F.S./℃
使用保証温度
5~50℃ 0~80%RH
リークレート
1×10-11Pa･m3/sec He
接ガス部材質
SUS316L,PCTFE,PTFE
シール材
Au
所要電源
11~25VDC (5VA Max.)
取付姿勢
自由
デジタルインターフェイス
DeviceNet™
バルブ方式
ピエゾアクチュエータ
重量
1.0kg
型番
MC-5100L取扱企業
株式会社リンテックカテゴリ
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何社からも電話が来る心配はありません
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量 (N2換算) | 流量制御範囲 | バルブ動作 | 精度 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 耐圧 | 温度影響 (Zero) | 温度影響 (Span) | 使用保証温度 | リークレート | 接ガス部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付姿勢 | デジタルインターフェイス | バルブ方式 | 重量 |
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要見積もり | 10~5,000SCCM | 2~100%F.S. | ノーマリオープン、ノーマリクローズ |
・100%F.S.~10%F.S.：±1.0%S.P. ・10%F.S.~2%F.S.：±0.1%F.S. |
±0.1%F.S. | 1sec | 50~300kPa | 1MPa (G) | ±0.02%F.S./℃ | ±0.02%F.S./℃ | 5~50℃ 0~80%RH | 1×10-11Pa･m3/sec He | SUS316L,PCTFE,PTFE | Au | 11~25VDC (5VA Max.) | 自由 | DeviceNet™ | ピエゾアクチュエータ | 1.0kg |
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