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センサ方式
熱式巻線センサ
バルブ方式
比例ソレノイド＋空圧2段バルブ (非通電時 閉)
対象ガス
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
フルスケール流量 (N2換算)
100~300SLM
制御範囲
2~100%F.S.
精度
±1%F.S. (25℃)
温度係数
±0.1%F.S./℃ (15~35℃)
再現性
±0.25%F.S.
動作差圧
個別対応
耐圧
3.4MPa (G) (HPオプション6.8MPa (G) )
Heリークレート
1×10^-7Pa・m3/sec以下
許容周囲温度
5~45℃
許容保存温度
-10~60℃
許容周囲湿度
10~90%RH (結露なきこと)
接ガス部材質
SUS316、Ni、SUS302、FKM
電気接続
D-sub15ピン
流量設定信号
0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上)
流量出力信号
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上)
所要電源
+15VDC (±5%) 150mA、-15VDC (±5%) 300mA
継手 (本体口径)
1/2SWL (3/4-16UNF)
重量
約2,400g
型番
HFC-303 (100~300SLM)取扱企業
コフロック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年11月8日にレビュー済み
顧客対応への満足度
非常に迅速で明快な回答でした
初回対応までの時間への満足度
1.60時間
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マスフローコントローラの製品121点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
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返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | センサ方式 | バルブ方式 | 対象ガス | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 精度 | 温度係数 | 再現性 | 動作差圧 | 耐圧 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | 電気接続 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 所要電源 | 継手 (本体口径) | 重量 |
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要見積もり | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイド＋空圧2段バルブ (非通電時 閉) | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 | 100~300SLM | 2~100%F.S. | ±1%F.S. (25℃) | ±0.1%F.S./℃ (15~35℃) | ±0.25%F.S. | 個別対応 | 3.4MPa (G) (HPオプション6.8MPa (G) ) | 1×10^-7Pa・m3/sec以下 | 5~45℃ | -10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316、Ni、SUS302、FKM | D-sub15ピン | 0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) | 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) | +15VDC (±5%) 150mA、-15VDC (±5%) 300mA | 1/2SWL (3/4-16UNF) | 約2,400g |
マスフローコントローラの中でこの商品と同じ値をもつ製品
制御方式が閉ループ制御型の製品
FCST1005 (M) F / FCST1005 (M) FD | デジタルマスフローコントローラー
エフコン株式会社
1850人以上が見ています
返答時間: 15.63時間
マスフローコントローラ
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1850人以上が見ています
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マスフローコントローラマスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
