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センサ方式
熱式巻線センサ
バルブ方式
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉)
対象ガス
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
フルスケール流量 (N2換算)
1SCCM~20SLM
制御範囲
2~100%F.S.
応答性
1sec以内 (within±2%F.S.)
精度
±1%F.S.
再現性
±0.2%F.S.
動作差圧
F.S.≦5SLM 50~300kPa、F. S .＞5SLM 100~300kPa
入口最大圧
300kPa (G)
耐圧
1MPa (G)
Heリークレート
1×10^-8Pa・m3/sec以下
許容周囲温度
0~50℃
精度保証温度
15~35℃
許容保存温度
-10~60℃
許容周囲湿度
10~90%RH (結露なきこと)
接ガス部材質
SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR)
電気接続
D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠)
流量設定信号
0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上)
流量出力信号
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上)
所要電源
＋15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 200mA
継手 (本体口径)
標準：1/4SWL オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF)
重量
約1,000g
型番
3200取扱企業
コフロック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年11月8日にレビュー済み
顧客対応への満足度
非常に迅速で明快な回答でした
初回対応までの時間への満足度
1.60時間
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マスフローコントローラの製品120点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | センサ方式 | バルブ方式 | 対象ガス | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 応答性 | 精度 | 再現性 | 動作差圧 | 入口最大圧 | 耐圧 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 精度保証温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | 電気接続 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 所要電源 | 継手 (本体口径) | 重量 |
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要見積もり | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 | 1SCCM~20SLM | 2~100%F.S. | 1sec以内 (within±2%F.S.) | ±1%F.S. | ±0.2%F.S. | F.S.≦5SLM 50~300kPa、F. S .＞5SLM 100~300kPa | 300kPa (G) | 1MPa (G) | 1×10^-8Pa・m3/sec以下 | 0~50℃ | 15~35℃ | -10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) | D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) | 0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) | 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) | ＋15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 200mA |
標準：1/4SWL オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) |
約1,000g |
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