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返答時間
6.2時間
入力電源
単相AC200V/220V、50/60Hz
電源容量
1,000VA
供給エア源
150NL/min 0.5Mpa以上 ※200L/min以上吐出できるオイルフリーのエア源
エア供給口
φ10ワンタッチ継ぎ手
処理幅
24mm (GAP 5mm エア使用時 ※処理対象物の材質･形状により変化します)
設置距離
5~10mm (ノズル先端からワークまで)
フレーム温度
68℃ (アルコール温度計、2分間、Ta=21℃の場合)
処理対象物
プラスチック、ガラス、金属、半導体、電子基板
寸法 発振器 AGF-B20R
250×180×300mm
寸法 プラズマユニット APG-500
400×270×345mm
寸法 プラズマヘッド PH-500
320×63×106mm
質量 発振器 AGF-B20R
11kg
質量 プラズマユニット APG-500
8.9kg
質量 プラズマヘッド PH-500
2.2kg
環境
温度5℃~40℃、湿度17％~70％RH (結露なきこと)
型番
APG-500シリーズ
リアルプラズマ (APG-500)取扱企業
春日電機株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 入力電源 | 電源容量 | 供給エア源 | エア供給口 | 処理幅 | 設置距離 | フレーム温度 | 処理対象物 | 寸法 発振器 AGF-B20R | 寸法 プラズマユニット APG-500 | 寸法 プラズマヘッド PH-500 | 質量 発振器 AGF-B20R | 質量 プラズマユニット APG-500 | 質量 プラズマヘッド PH-500 | 環境 |
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要見積もり | 単相AC200V/220V、50/60Hz | 1,000VA | 150NL/min 0.5Mpa以上 ※200L/min以上吐出できるオイルフリーのエア源 | φ10ワンタッチ継ぎ手 | 24mm (GAP 5mm エア使用時 ※処理対象物の材質･形状により変化します) | 5~10mm (ノズル先端からワークまで) | 68℃ (アルコール温度計、2分間、Ta=21℃の場合) | プラスチック、ガラス、金属、半導体、電子基板 | 250×180×300mm | 400×270×345mm | 320×63×106mm | 11kg | 8.9kg | 2.2kg | 温度5℃~40℃、湿度17％~70％RH (結露なきこと) |
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使用用途
#インク密着向上 #パッケージング処理 #フィルム処理 #医療機器加工 #研究開発 #樹脂表面改質 #接着強化処理 #電子部品製造 #薄膜形成前処理 #半導体製造プラズマ励起方式
直流放電型 高周波放電型 マイクロ波放電型 表面波型 パルス電源型反応場構成
リモート型 平行平板型 同軸円筒型 分離チャンバー型基板処理方式
枚葉式 バッチ式 ロールツーロール インライン式 回転テーブル式圧力領域
大気圧型 低圧型マイクロ波出力 W
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,500装置形式
卓上型装置 19"筐体電源容量 kVA
0 - 1 1 - 2 2 - 3処理面
1 2電源 V
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500
