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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

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返答率

100.0%

返答時間

163.7時間

全型番で同じ値の指標

吸気口フランジ

ISO-B250 VG250

排気口フランジ

KF40

排気速度 N2 (L/s)

2,200

排気速度 N2 (保護金給付) (L/s)

2,100

排気速度 H2 (L/s)

1,800

最大圧縮比 N2

>2×10^8

最大圧縮比 H2

3×10^3

最大ガス流量 N2 (sccm)

7,000

最大ガス流量 Ar (sccm)

3,000

起動時間 (min)

≦10

停止時間 (min)

≦10

到達圧力 (Pa)

<2×10^-7

到達圧力 (Torr)

<1.5×10^-9

許容補助圧力 (Pa)

220

許容補助圧力 (Torr)

1.65

推奨補助ポンプ (L/min)

≧2,200

取付姿勢

自在

質量 (kg)

59

この製品について

TGkine®-Rシリーズは、電源・コントローラ一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。

■TGkine2200M-R

・省電力設計 ・設定パラメータ、稼働データ、異常履歴などをポンプ本体に保持可能。※オーバーホール時にコントローラを入れ替えても、データ引継ぎ可能 ・多様な通信仕様EtherCAT対応可能 ・国際規格適合CE/NRTL/SEMI-S2

  • 型番

    TGkine2200M-R

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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ TGkine2200M-Rの性能表

商品画像 価格 (税抜) 吸気口フランジ 排気口フランジ 排気速度 N2 (L/s) 排気速度 N2 (保護金給付) (L/s) 排気速度 H2 (L/s) 最大圧縮比 N2 最大圧縮比 H2 最大ガス流量 N2 (sccm) 最大ガス流量 Ar (sccm) 起動時間 (min) 停止時間 (min) 到達圧力 (Pa) 到達圧力 (Torr) 許容補助圧力 (Pa) 許容補助圧力 (Torr) 推奨補助ポンプ (L/min) 取付姿勢 質量 (kg)
磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ-品番-TGkine2200M-R 要見積もり ISO-B250 VG250 KF40 2,200 2,100 1,800 >2×10^8 3×10^3 7,000 3,000 ≦10 ≦10 <2×10^-7 <1.5×10^-9 220 1.65 ≧2,200 自在 59

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

163.7時間

会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府

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