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返答率
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返答時間
163.7時間
吸気口フランジ
VG100/ISO-8100/CF100
排気口フランジ
KF25
排気速度 N2 (L/s)
340
排気速度 N2 (保護金給付) (L/s)
320
排気速度 H2 (L/s)
290
最大圧縮比 N2
1×10^8
最大圧縮比 H2
4.5×10^3
最大ガス流量 N2 (sccm)
2,000
到達圧力 VG·ISO-B/CF (Pa)
＜1×10^-6/1×10^-7
到達圧力 VG·ISO-B/CF (Torr)
(＜7.5×10^-9/7.5×10^-10)
起動時間 (min)
2~2.5
停止時間 (min)
2~3
許容補助圧力 Pa (Torr)
400 (3.0)
推奨補助ポンプ (L/min)
≧160
取付姿勢
自在
質量 VG-ISO-B/CF (kg)
16/19
ターボコントローラー型式
TC0301M
入力電圧 (ACV)
200~240
入力相数
単相
入力周波数 (Hz)
50/60
最大所要電力 (VA)
400
出力周波数 (Hz)
680
質力 (kg)
8
通信規格
Parallel I/O.RS232C・RS485 Profibus DeviceNet EtherCAT (ご指示が無い場合、Parallel I/Oとなります。)
型番
TG397M取扱企業
株式会社大阪真空機器製作所カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 吸気口フランジ | 排気口フランジ | 排気速度 N2 (L/s) | 排気速度 N2 (保護金給付) (L/s) | 排気速度 H2 (L/s) | 最大圧縮比 N2 | 最大圧縮比 H2 | 最大ガス流量 N2 (sccm) | 到達圧力 VG·ISO-B/CF (Pa) | 到達圧力 VG·ISO-B/CF (Torr) | 起動時間 (min) | 停止時間 (min) | 許容補助圧力 Pa (Torr) | 推奨補助ポンプ (L/min) | 取付姿勢 | 質量 VG-ISO-B/CF (kg) | ターボコントローラー型式 | 入力電圧 (ACV) | 入力相数 | 入力周波数 (Hz) | 最大所要電力 (VA) | 出力周波数 (Hz) | 質力 (kg) | 通信規格 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | VG100/ISO-8100/CF100 | KF25 | 340 | 320 | 290 | 1×10^8 | 4.5×10^3 | 2,000 | ＜1×10^-6/1×10^-7 | (＜7.5×10^-9/7.5×10^-10) | 2~2.5 | 2~3 | 400 (3.0) | ≧160 | 自在 | 16/19 | TC0301M | 200~240 | 単相 | 50/60 | 400 | 680 | 8 | Parallel I/O.RS232C・RS485 Profibus DeviceNet EtherCAT (ご指示が無い場合、Parallel I/Oとなります。) |
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動作原理がターボ分子型の製品
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使用用途
#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装動作原理
油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型構造形式
直結型 ベルト駆動型圧力領域
低真空用 中真空用 高真空用冷却方式
空冷型 水冷型到達真空度 Pa
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000排気速度 L/min
0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000モータ出力 kW
0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150質量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000騒音値 dB(A)
40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85電源電圧 V
0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500
