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最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S-株式会社フィジックステクノロジー

RT075S | 最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S
株式会社フィジックステクノロジー

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プレート径

74mm

耐荷重

137N

偏芯誤差

100nm

面振れ誤差

50nm

角度精度

±13.8arcsec

最大速度

300rpm

この製品について

フィジックステクノロジーでは、SmarAct社の小型ピエゾステージとの組み合わせに最適なエアーベアリングステージをご提供しております。特にエアーベアリング回転ステージは偏芯エラーが少なく、煩雑な回転による誤差の修正を少なく制御できますので、制御時間の短縮につなげることができます。

■エアーベアリング回転ステージ

エアーベアリング回転ステージは、最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージです。搭載物に応じて回転テーブルサイズを豊富にご用意しております。幅広いアプリケーションにご利用いただいております。

■ご利用アプリケーション

真円度測定システム、超精密加工装置、半導体関連機器、非球面マイクロマシニング、マイクロ・ナノトモグラフィー、医療用関連機器、レーザー微細加工装置

  • 型番

    RT075S

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最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S RT075Sの性能表

商品画像 価格 (税抜) プレート径 耐荷重 偏芯誤差 面振れ誤差 角度精度 最大速度
最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S-品番-RT075S 要見積もり 74mm 137N 100nm 50nm ±13.8arcsec 300rpm

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使用用途

#光学調整 #半導体検査 #計測装置 #精密加工 #研究開発 #組立工程

回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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