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フルスケール流量
5 (L/min)
制御範囲
4~100 (%) F.S. (0.2~5L/min)
応答特性
設定流量±5 (5) F.S.に2秒以内
流量制御精度
±5.0 (%) R.D. (2<Q≦5L/min) ±3.0 (%) F.S. (0.2<Q≦2L/min)
再現性
±1.5 (%) F.S.
弁構造
直動ポペット
弁形式
NC形
使用流体
空気、酸素、窒素
動作差圧範囲
0.05~0.2 (MPa)
接続ポート
IN側 φ4チューブ継手 OUT側 φ4チューブ継手
耐圧力
0.3 (MPa)
流体温度
0~50 (℃)
周囲温度
5~50 (℃)
周囲湿度
30~85 (%) RH (結露なきこと)
取付姿勢
自在
重量
200 (g)
接ガス部材質
PPS・ステンレス・フッ素ゴム・黄銅・シリコン (センサー部)
定格電圧
12 (V)
流量設定
アナログ入力 入力範囲1~5 (V) シリアル通信 RS232C 設定分解能 0.01 (L/min)
型番
SMFC-0005シリーズ
小型流量コントローラー SMFCシリーズ取扱企業
タカノ株式会社カテゴリ
レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです
5.0
評判がとても良い
2025年9月8日にレビュー
本校の必要な見積もりの情報を過不足なく送ってくださった。
初回返答までの時間・27.75時間| 商品画像 | 価格 (税抜) | フルスケール流量 | 制御範囲 | 応答特性 | 流量制御精度 | 再現性 | 弁構造 | 弁形式 | 使用流体 | 動作差圧範囲 | 接続ポート | 耐圧力 | 流体温度 | 周囲温度 | 周囲湿度 | 取付姿勢 | 重量 | 接ガス部材質 | 定格電圧 | 流量設定 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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|
要見積もり | 5 (L/min) |
4~100 (%) F.S. (0.2~5L/min) |
設定流量±5 (5) F.S.に2秒以内 |
±5.0 (%) R.D. (2|
±1.5 (%) F.S.
|
直動ポペット
|
NC形
|
空気、酸素、窒素
|
0.05~0.2 (MPa)
|
IN側 φ4チューブ継手 |
OUT側 φ4チューブ継手
0.3 (MPa)
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0~50 (℃)
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5~50 (℃)
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30~85 (%) RH (結露なきこと)
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自在
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200 (g)
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PPS・ステンレス・フッ素ゴム・黄銅・シリコン (センサー部)
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12 (V)
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アナログ入力 入力範囲1~5 (V) |
シリアル通信 RS232C 設定分解能 0.01 (L/min) |
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使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
