EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X
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返答率

100.0%

返答時間

22.7時間

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最大フレームレート (fps)

40 (USB 3.0 16 bit)

ROI エリア

13.3 mm x 13.3 mm

センサータイプ

背面照射型 Scientific CMOS (sCMOS)

素子数

2,048×2,048

素子サイズ

6.5μm×6.5μm

検出面積

13.3 mm ×13.3 mm

シャッターモード

ローリングシャッター

ピクセル読み出しレート

310 MHz (高速ハイダイナミックレンジモード：16bit) 180 MHz (低ノイズモード：12bit)

最大量子効率

99%

読み出しノイズ

1.6 e- (高速ハイダイナミックレンジモード：16bit) 1.2 e- (低ノイズモード：12bit)

冷却温度

-25℃ (空冷) -45℃ (水冷)

暗電流

0.15 e-/pixel/s (@-25℃) 0.10 e-/pixel/s (@-45℃)

ダイナミックレンジ

34,000：1 (高速ハイダイナミックレンジモード：16bit)

データ出力レンジ

16bit (高速ハイダイナミックレンジモード) 12bit (低ノイズモード)

ビンニング

2×2, 3×3, 4×4, 8×8

インターフェース

USB 3.0またはCoaXPress

マウンティングフランジ

DN100CF 6インチ外径固定フランジ

制御ソフト (32bit , 64bit)

Andor Solis Andor SDK (C, C++, LabVIEW, Matlab互換)

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この製品について

■軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X軟X線、EUVを100fpsで直接撮像可能。リソグラフィ、タイコグラフィ用途など。

■軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 製品概要Marana-Xは、EUVおよび軟X線アプリケーションに適したsCMOSカメラです。背面照射型4.2メガピクセルsCMOSセンサーにより、フルフレームで最大74fpsでの撮像が行えます。さらに画素数を絞れば100fps、1,000fpsといった従来のX線CCDを凌駕する高速撮像も可能です。

また、撮像だけでなく、分光計測モードも搭載しており、分光器に接続をしてスペクトル計測をすることも可能です。

■特長・背面照射型sCMOSセンサー搭載
・VUV、EUV、軟X線検出用
・高画素：4.2メガピクセル (2,048x2,048) 
・高感度：最大量子効率99%
・高速：74 fps (フルフレーム) , 108 fps (1,400x1,400画素) 
・ハイダイナミックレンジ：最大16bit
・低温冷：-45℃
・分光計測モード搭載

■主な用途・in situ X線計測
・トモグラフィー
・X線分光法
・ハイパースペクトルイメージング
・EUVリソグラフィー
・EUVタイコグラフィー

型番
Marana-X-6 ROI サイズ 2,048 x 2,048

シリーズ
光検出器・光電子分光用アナライザ X線/電子線 (CCD, MCPなど) 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X

取扱企業
株式会社東京インスツルメンツ

カテゴリ

カメラ

CMOSカメラ

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冷却CCDカメラ

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センサー

CCDセンサー

センサー

イメージインテンシファイア

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光検出器・光電子分光用アナライザ X線/電子線 (CCD, MCPなど) 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X Marana-X-6 ROI サイズ 2,048 x 2,048の性能表

商品画像	価格 (税抜)	最大フレームレート (fps)	ROI エリア	センサータイプ	素子数	素子サイズ	検出面積	シャッターモード	ピクセル読み出しレート	最大量子効率	読み出しノイズ	冷却温度	暗電流	ダイナミックレンジ	データ出力レンジ	ビンニング	インターフェース	マウンティングフランジ	制御ソフト (32bit , 64bit)
	要見積もり	40 (USB 3.0 16 bit)	13.3 mm x 13.3 mm	背面照射型 Scientific CMOS (sCMOS)	2,048×2,048	6.5μm×6.5μm	13.3 mm ×13.3 mm	ローリングシャッター	310 MHz (高速ハイダイナミックレンジモード：16bit) 180 MHz (低ノイズモード：12bit)	99%	1.6 e- (高速ハイダイナミックレンジモード：16bit) 1.2 e- (低ノイズモード：12bit)	-25℃ (空冷) -45℃ (水冷)	0.15 e-/pixel/s (@-25℃) 0.10 e-/pixel/s (@-45℃)	34,000：1 (高速ハイダイナミックレンジモード：16bit)	16bit (高速ハイダイナミックレンジモード) 12bit (低ノイズモード)	2×2, 3×3, 4×4, 8×8	USB 3.0またはCoaXPress	DN100CF 6インチ外径固定フランジ	Andor Solis Andor SDK (C, C++, LabVIEW, Matlab互換)