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ステージ
電動XYZθステージ
構成 (共通)
装置本体・制御用PC・ソフトウェア
構成 (モデル)
ステージドライバ 防振テーブル
光源
365nm (typ.) LED
露光領域
100mm × 100mm
ワークサイズ
最大Φ150mm、 厚み10mm
ユーティリティ
AC100V、消費電力 1.5kW以下
対応ファイルフォーマット
画像データ (JPEG / PNG / BITMAP) 、パワーポイントデータ (XPS) 、CADデータ (DXF)
本体外寸・質量
500mm (W) × 600mm (D) × 650mm (H) 、 約100kg
対物レンズ
10倍・2倍
最小露光線幅
3μm・15μm
ワンショットあたりの露光エリア
約1mm × 0.6mm・約5mm × 3mm
ワンショットあたりの露光時間
約1秒・約15秒
型番
DDB-701-DL4取扱企業
ネオアーク株式会社カテゴリ
レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです
5.0
評判がとても良い
2025年2月20日にレビュー
対応がとても丁寧です。返信も早く、商品説明もこちらの質問に対し要所簡潔でとても分かり易かった。この対応だけで購入決めたいぐらいでした。
初回返答までの時間・4.34時間| 商品画像 | 価格 (税抜) | ステージ | 構成 (共通) | 構成 (モデル) | 光源 | 露光領域 | ワークサイズ | ユーティリティ | 対応ファイルフォーマット | 本体外寸・質量 | 対物レンズ | 最小露光線幅 | ワンショットあたりの露光エリア | ワンショットあたりの露光時間 |
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要見積もり | 電動XYZθステージ | 装置本体・制御用PC・ソフトウェア |
ステージドライバ 防振テーブル |
365nm (typ.) LED | 100mm × 100mm | 最大Φ150mm、 厚み10mm | AC100V、消費電力 1.5kW以下 | 画像データ (JPEG / PNG / BITMAP) 、パワーポイントデータ (XPS) 、CADデータ (DXF) |
500mm (W) × 600mm (D) × 650mm (H) 、 約100kg |
10倍・2倍 | 3μm・15μm | 約1mm × 0.6mm・約5mm × 3mm | 約1秒・約15秒 |
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使用用途
#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ露光方式
マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型光源種類
水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型解像方式
接触露光型 近接露光型 投影露光型搬送方式
ステージ移動型 ロール搬送型対応サイズ
大型基板対応型 中小型基板対応型最小露光線幅 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20光源波長 nm
200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 500 500 - 1,100露光領域 mm
0 - 50 50 - 150 150 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,100対物レンズ倍率 倍
0 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 100 100 - 150露光時間ショットあたり 秒
0 - 5 5 - 10 10 - 15消費電力 kW
0 - 3 3 - 6
