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適用ワーク
Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:374mm (アーム最大到達距離) T軸: 370deg (原点: ±185deg) Z 軸 : 380mm
繰返し精度
X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (30)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C, RS-485
ユーティリティ
電源: 駆動 DC24V±5% 10A 制御 DC24V±5% 3.15A真空 : -80kP a以下 15L/min以上 1系統 (Φ6×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッ チ継手接続)
重量
本体:約35kg
型番
MTSR-3取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 制御方法 | ユーティリティ | 重量 |
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要見積もり | Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ | R軸:374mm (アーム最大到達距離) T軸: 370deg (原点: ±185deg) Z 軸 : 380mm | X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (30) | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ | デジタル表示付き真空センサー | RS232C, RS-485 | 電源: 駆動 DC24V±5% 10A 制御 DC24V±5% 3.15A真空 : -80kP a以下 15L/min以上 1系統 (Φ6×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッ チ継手接続) | 本体:約35kg |
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