TYK2102-2 | EFEM・ソータ
PHT株式会社
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EMO接点出力
インターロック
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ポート数
搬送対象
正圧 (元圧)
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真空 (元圧)
真空 (流量)
電源電圧
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型番
TYK2102-2
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シリーズ
EFEM・ソータ
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取扱企業
PHT株式会社
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EFEM・ソータ TYK2102-2の性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | EMO接点出力 | インターロック | キャリア | ポート数 | 搬送対象 | 正圧 (元圧) | 正圧 (流量) | 消費電流 | 真空 (元圧) | 真空 (流量) | 電源電圧 |
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要見積もり | 2系統 (ドライ接点) | 入力8点/出力8点 (絶縁I/O) |
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) 300mm FOSB 25段 (SEMI M31) |
2ポート | 300mmウェーハ径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm | 0.6MPa~0.7MPa | 20L/min | 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む | -80kPa~-90kPa | 40L/min | 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% |
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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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