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適用ワーク
Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸 : 590mm (アーム最大到達距離) T軸: 350deg (原点: ±175deg) W 軸: 360deg (原点: ± 180deg) Z軸 : 300mmP軸: 180deg
繰返し精度
X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (3c) P軸:0.02deg (30)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源: 単相AC208V 5A 1系統 :単相AC100V 7.5A 1系統真 空: -80kPa以下 1系統 (Φ6xΦ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継 手接続)
重量
本体 : 約50kgコントローラ (MCE) : 約18kg
型番
MTE-E取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 制御方法 | ユーティリティ | 重量 |
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要見積もり | Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ | R軸 : 590mm (アーム最大到達距離) T軸: 350deg (原点: ±175deg) W 軸: 360deg (原点: ± 180deg) Z軸 : 300mmP軸: 180deg | X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (3c) P軸:0.02deg (30) | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ | デジタル表示付き真空センサー | RS232C,RS-485 | 電源: 単相AC208V 5A 1系統 :単相AC100V 7.5A 1系統真 空: -80kPa以下 1系統 (Φ6xΦ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継 手接続) | 本体 : 約50kgコントローラ (MCE) : 約18kg |
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