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クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット-タツモ株式会社

全型番で同じ値の指標

適用ワーク

Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ

動作範囲

R軸 : 590mm (アーム最大到達距離) T軸: 350deg (原点: ±175deg) W 軸: 360deg (原点: ± 180deg) Z軸 : 300mmP軸: 180deg

繰返し精度

X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (3c) P軸:0.02deg (30)

ウェーハ把持方法

裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ

ウェーハ把持確認

デジタル表示付き真空センサー

制御方法

RS232C,RS-485

ユーティリティ

電源: 単相AC208V 5A 1系統 :単相AC100V 7.5A 1系統真 空: -80kPa以下 1系統 (Φ6xΦ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継 手接続)

重量

本体 : 約50kgコントローラ (MCE) : 約18kg

この製品について

本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

■製品特徴

・3FOUPにレールレスで対応します。 ・チェンジャー機構により、ウェーハの入れ替え動作を高速に行ないます。 ・マッピングセンサーも用意しております。 ・R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。 ・アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。

  • 型番

    MTE-E

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クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット MTE-Eの性能表

商品画像 価格 (税抜) 適用ワーク 動作範囲 繰返し精度 ウェーハ把持方法 ウェーハ把持確認 制御方法 ユーティリティ 重量
クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット-品番-MTE-E 要見積もり Φ100mm~Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ R軸 : 590mm (アーム最大到達距離) T軸: 350deg (原点: ±175deg) W 軸: 360deg (原点: ± 180deg) Z軸 : 300mmP軸: 180deg X,Y方向: ±0.1mm (30) Z軸: ±0.05mm (3c) P軸:0.02deg (30) 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ デジタル表示付き真空センサー RS232C,RS-485 電源: 単相AC208V 5A 1系統 :単相AC100V 7.5A 1系統真 空: -80kPa以下 1系統 (Φ6xΦ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継 手接続) 本体 : 約50kgコントローラ (MCE) : 約18kg

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使用用途

#重量物 #原料粉粒体等 #小物部品 #基板ウェーハFPC #医療材料 #パレット #ピッチ送り #ロボット連携

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県

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