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適用ワーク
Φ100mm~Φ300mm SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸: 430mm (アーム最大到達距離) T軸: 370deg (原点: ±185deg) Z 軸 : 330mm
繰返し精度
X,Y方向: ±0.1mm (3σ) Z軸: ±0.05mm (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
制御方法
RS232C, ETHERNET
ユーティリティ
電源: 単相AC200V ~ 230V 7.5A 1系統 真空: -80kPa以下 15L/min以 上1系統 (Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続)
重量
本体:約35kg コントローラ (TT301A) : 約10kg
型番
TT301A-RA取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 動作範囲 | 繰返し精度 | ウェーハ把持方法 | ウェーハ把持確認 | 制御方法 | ユーティリティ | 重量 |
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要見積もり | Φ100mm~Φ300mm SEMI/JEITA規格品ウェーハ | R軸: 430mm (アーム最大到達距離) T軸: 370deg (原点: ±185deg) Z 軸 : 330mm | X,Y方向: ±0.1mm (3σ) Z軸: ±0.05mm (3σ) | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ | RS232C, ETHERNET | 電源: 単相AC200V ~ 230V 7.5A 1系統 真空: -80kPa以下 15L/min以 上1系統 (Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続) | 本体:約35kg コントローラ (TT301A) : 約10kg |
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使用用途
#重量物 #原料粉粒体等 #小物部品 #基板ウェーハFPC #医療材料 #パレット #ピッチ送り #ロボット連携駆動方式
電動駆動型 空圧駆動型 油圧駆動型 手動駆動型構造方式
コンベア型 リフター型 スカラ型搬送対象対応
バラ物対応型 定形物対応型特殊機能
クリーン搬送型 自動位置決め型搬送質量 kg
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 50,000 50,000 - 600,000機長 m
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 250 250 - 1,700機幅 mm
0 - 200 200 - 500 500 - 800 800 - 1,200 1,200 - 1,600 1,600 - 2,600機高 mm
0 - 200 200 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,000 2,000 - 7,000速度 m/min
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400モータ出力 kW
0 - 1 1 - 5 5 - 40搬送面材質
66ナイロン ウレタンゴム エンジニアリングプラスチック スチール ポリアセタール ポリウレタン含浸 ポリプロピレン
