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返答時間
15.6時間
流量レンジ
設定/出力信号
シール部材質
駆動電源(MFC)
バルブタイプ
NC：ノーマルクローズ
アクチュエータ方式
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外)
制御流量範囲
2~100％F.S
応答性
2sec(設定値の±2％以内)
外部リーク
5×10-10Pa･m3/secHe
使用可能温度範囲
0~50℃
温度影響
±0.05％/℃F.S
圧力影響
±0.0015％/kPaF.S
接続継手
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど
型番
C50M取扱企業
エフコン株式会社カテゴリ
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マスフローコントローラの製品121点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量レンジ | バルブタイプ | アクチュエータ方式 | 制御流量範囲 | 応答性 | 流量精度 | 再現性 | 耐圧 | 外部リーク | 使用可能温度範囲 | 設定/出力信号 | 温度影響 | 圧力影響 | 接ガス部材質 | シール部材質 | 駆動電源(MFC) | 接続継手 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 50~200SLPM | NC：ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100％F.S | 2sec(設定値の±2％以内) | ±1.0％F.S | ±0.25％F.S | 1MPa(G) | 5×10-10Pa･m3/secHe | 0~50℃ | RS232or0~5VDC+RS232or4~20mA+RS232orRS485選択 | ±0.05％/℃F.S | ±0.0015％/kPaF.S | SUS316Lorアルミ選択、バイトン | バイトン | 24VDC±10％850mARS485：130mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
マスフローコントローラの中でこの商品と同じ値をもつ製品
制御方式が閉ループ制御型の製品
FCST1005 (M) F / FCST1005 (M) FD | デジタルマスフローコントローラー
エフコン株式会社
1850人以上が見ています
返答時間: 15.63時間
マスフローコントローラ
FCST1030 (M) F / FCST1030 (M) FD | デジタルマスフローコントローラー
エフコン株式会社
1850人以上が見ています
返答時間: 15.63時間
マスフローコントローラマスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
