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返答率
100.0%
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17.5時間
流量(N2換算流量)
必要差圧
供給電源電圧、消費電流
接ガス部材質
アクチュエータ方式
接続継手
制御流量範囲
2~100％F.S
流量設定信号
0.1~5VDC
流量出力信号
0~5VDC
耐圧力
1MPa(G)
取付姿勢
指定なし(自由)
通信方式
アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet
デジタル通信
RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台
使用保証温度範囲
5~50℃
型番
FCST2150シリーズ
デジタルマスフローコントローラー取扱企業
エフコン株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量(N2換算流量) | バルブ動作 | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 最大動作圧力 | 耐圧力 | 使用保証温度範囲 | 外部リーク | 取付姿勢 | 消費電流 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | 100,150SLM | NC：ノーマルクローズ | 2~100％F.S | ±2％F.S | 0.1~5VDC | 0~5VDC | ±0.2％F.S | ≦1sec | 200~350KPa(100SLM)250~350KPa(150SLM) | 350KPa(G) | 1MPa(G) | 5~50℃ | 1×10-11Pa･m3/secHe | 指定なし(自由) | =+15VDC：100mA-15VDC：200mA | SUS316L，PCTFE，FKM | Au | ソレノイドアクチュエータ | EP処理 | 3/8インチUJR |
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制御方式が閉ループ制御型の製品
マスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
