特長
■安定した納期を実現ALICATはアメリカのアリゾナに自社工場を構え、長年培った経験と知識により発展してまいりました。様々な用途に対応した機種の開発を行っており、多様なニーズに対応できます。

近年では大幅な人員増強・生産設備の増加を行い、安定供給が可能となりました。世界情勢による不安定な状況の中で、ALICAT製品は安定した納期を実現しております。

■多種多様なガスが測定可能・混合ガスを含めM/MWシリーズは98種類、MSシリーズは腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスが1台で測定可能。
・ガスの選択はフロントのボタン操作で簡単選択。

■200:1の幅広い流量レンジ ※MSシリーズは100:1・超微少流量の 0.5SCCM から大流量の 5000SLPM までラインナップ。 (※MWシリーズは 1000SLPM まで) 
・流量範囲は0.5%～100% F.S.の200:1。0.5SCCM は超微少の 0.0025mL/min から測定が可能です。

■マスフロー (質量流量) の他、圧力、温度も測定・表示画面にはマスフローに加え、体積流量、圧力、温度も表示します。
・また各データの表示単位も変更が可能です。その単位に換算した値が表示されます。

■バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載・バックライト付きのモノクロ液晶を標準搭載。バックライトはボタン操作で簡単にON/OFFが行えます。
・より視認性の良いTFTカラー液晶にもオプションで対応が可能です。

■アナログ出力／RS-232C通信を標準搭載・標準で0-5VDC出力を搭載。0-10VDC、1-5VDC、4-20mADC出力にも対応可能です。またオプションで2出力も可能です。
・アナログ出力は標準でマスフローを出力します。マスフローの他、体積流量、圧力、温度の指定も可能です。

■流量の積算が可能・流量の積算オプションをつけることにより積算流量表示が可能です。
・電源投入後およびリセット後から流量の積算を開始します。

■配管接続口径はNPT規格のめねじとなります。

■校正・校正はメーカーにて行います。通常20℃ 1atmで校正を行いますが、0℃ 1atmでの校正もご指定いただけます。
・実ガスによる校正にも対応が可能です。

型番
MSシリーズ (腐食性ガス／冷媒ガス対応)

シリーズ
マスフローメーター

取扱企業
日本スターテクノ株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

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マスフローメーター

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マスフローメーター MSシリーズ (腐食性ガス／冷媒ガス対応) の性能表

商品画像	価格 (税抜)	寸法 (流量レンジ 0.5SCCM)	接続口径 (流量レンジ 0.5SCCM)	F.S.流量時の圧力損失
	要見積もり	H111.68mm x W60.33mm x D26.67mm	M5 (10-32) めねじ	6.89kPa (D)

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測定原理

コリオリ式熱式

最大測定誤差 %

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.8 0.8 - 1.1

周囲温度レンジ ℃

-60 - -40 -40 - -20 -20 - 0 0 - 60

呼び口径レンジ mm

1 - 20 20 - 50 50 - 80 80 - 100

測定物のプロセス温度 °C

-50 - 100 100 - 150 150 - 205

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会社概要

日本スターテクノ株式会社は、産業用電気機器の販売を主な事業としている企業です。 2002年にスター電子株式会社の計測機器国内販売部門として設立されており、東京都台東区にある本社のほかに大阪市中央区に大阪営業所を置いてい...

本社所在地: 茨城県

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質量流量計

MSシリーズ (腐食性ガス／冷媒ガス対応) | マスフローメーター 日本スターテクノ株式会社

日本スターテクノ株式会社の対応状況

型番説明

全型番で同じ値の指標

この製品について

■安定した納期を実現

■多種多様なガスが測定可能

■200:1の幅広い流量レンジ ※MSシリーズは100:1

■マスフロー (質量流量) の他、圧力、温度も測定

■バックライト付きモノクロ液晶表示器を標準搭載

■アナログ出力／RS-232C通信を標準搭載

■流量の積算が可能

■配管

■校正

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